文献

J-GLOBAL ID：201702228966917994   整理番号：17A0036189

広がる応用!UV技術の可能性を探る 紫外線製品と産業応用

著者 (1件)： 大角和正 (ユーヴィックス)
資料名： Optronics  (Optronics)
号： 421  ページ： 60-63  発行年： 2017年01月10日 
JST資料番号： Y0019A  ISSN： 0286-9659  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,代表的な紫外線利用装置と,それにより生み出される製品について紹介した。紫外線の産業への応用例として露光装置がある。露光機は半導体やフラットパネルディスプレイ,MEMS等の製造の中心となる装置である。基板上のレジスト膜に微細なフォトマスクのパターンを紫外線の露光により正確に写し取ることができる。その他紫外線応用として,UVインキによる印刷機光源,UVレーザー加工機,紫外線殺菌器,光触媒などについて説明した。

シソーラス用語： *紫外光源 ,  発光ダイオード ,  *紫外線ランプ ,  露光 ,  *紫外レーザ ,  *レーザ加工 ,  殺菌 ,  光触媒
準シソーラス用語： 紫外線LED ,  紫外線殺菌

分類 (2件)： レーザ一般  (BD04030T) ,  光源  (BD07020D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 応用 ,  可能性 ,  紫外線 ,  産業応用