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J-GLOBAL ID：201702229067809169   整理番号：17A1547314

水素センシングへの応用としてのPd/Ag合金【Powered by NICT】

Pd/Ag alloy as an application for hydrogen sensing

著者 (2件)： Sharma Bharat (Department of Materials Science and Engineering, University of Seoul, Seoul 02504, South Korea) ,  Kim Jung-Sik (Department of Materials Science and Engineering, University of Seoul, Seoul 02504, South Korea)
資料名： International Journal of Hydrogen Energy  (International Journal of Hydrogen Energy)
巻： 42  号： 40  ページ： 25446-25452  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0192B  ISSN： 0360-3199  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 埋込みマイクロヒータを持つマイクロ電気機械システム(MEMS)法を用いて作製した高感度H_2ガスセンサ。パラジウム-銀(化学量論比を持つPd/Ag77:23)薄膜は,RF/DCマグネトロンスパッタリングにより堆積し,ジグザグパターンとして設計された水素センシング層として使用した。Pd/Ag薄膜の形態と構造特性を,それぞれ電界放出走査電子顕微鏡(FESEM),原子間力顕微鏡(A FM)とエネルギー分散型X線分析で調べた。マイクロヒータの動作温度はヒータ電圧の変化と直線関係を示した。H_2センサの電気熱特性を有限要素法(FEM)により研究した。電気抵抗の変化として作製したH_2センサの検出特性を水素濃度と温度に関して研究した。実験結果はヒータ電圧印加後の高いセンサ応答および応答時間を示した。合金Pd/Ag薄膜のセンシング特性は,純粋なパラジウムのそれよりも改善された。作製したH_2センサの最大センサ応答(R_s)は1000ppm H_2に対して14.26%であった。作製したH_2センサのセンサ応答はヒータ電圧(運転温度)を持つ線形挙動を示し,水素濃度と一致した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ガスセンサ ,  *パラジウム ,  センサ ,  MEMS ,  *水素 ,  熱特性 ,  原子間力顕微鏡 ,  応答時間 ,  加熱器 ,  薄膜 ,  有限要素法 ,  高感度 ,  電圧
準シソーラス用語： 水素濃度 ,  マイクロヒータ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Pd/Ag ,  MEMS ,  マイクロヒータ ,  水素センサ ,  センサ応答

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 水素 ,  センシング ,  応用 ,  Pd ,  Ag合金