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J-GLOBAL ID：201702229224060660   整理番号：17A1482933

CrTiAlSiN皮膜のミクロ組織と機械的性質評価:けい素含有量の影響【Powered by NICT】

The microstructure and mechanical properties evaluation of CrTiAlSiN coatings: Effects of silicon content

著者 (5件)： Kuo Yu-Chu (Department of Mechanical Engineering, National Taiwan University of Science and Technology, Taipei, Taiwan) ,  Wang Chaur-Jeng (Department of Mechanical Engineering, National Taiwan University of Science and Technology, Taipei, Taiwan) ,  Lee Jyh-Wei (Department of Materials Engineering, Ming Chi University of Technology, Taipei, Taiwan) ,  Lee Jyh-Wei (Center for Thin Films Technologies and Applications, Ming Chi University of Technology, Taipei, Taiwan) ,  Lee Jyh-Wei (College of Engineering, Chang Gung University, Taoyuan, Taiwan)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 638  ページ： 220-229  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々のけい素含量のCrTiAlNとCrTiAlSiN薄膜をマグネトロン同時スパッタリングプロセスにより作製した。微細構造,CrTiAlSiN膜の機械的特性とトライボロジー特性に及ぼすけい素含有量の影響を本研究で調べた。CrTiAlNとCrTiAlSiNの結晶構造は面心立方構造を有していた。ケイ素含有量が0.4at.%から2.9at.%までとしてCrTiAlSiN薄膜の微細構造は柱状構造から密でコンパクトな形態に変化する。直径約5nmのナノ粒子を有するナノ複合材料ミクロ組織は8.0at.%Siを含む皮膜で達成された。34GPa付近でCrTiAlSiNの最大硬度はSi含有量(1.0at.%)の適切な調整によって達成された。Si含有量が1.6at.%であったとき,優れた押込靭性,Kc,1.89MPa mが得られた。コーティングの耐摩耗性は著しく改善された硬度は増加した。本研究では,硬度,耐塑性変形性,靭性,トライボロジー特性とSi含有量の間の関係をCrTiAlSiN被膜を発見した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *ケイ素 ,  ナノ複合材料 ,  微細構造 ,  耐摩耗性 ,  薄膜 ,  硬度 ,  *皮膜 ,  塑性変形 ,  靱性 ,  ナノ粒子 ,  被覆
準シソーラス用語： 柱状構造 ,  FCC構造 ,  トライボロジー特性 ,  同時スパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： CrTiAlN ,  CrTiAlSiN ,  Si含有量 ,  ナノ複合材料被覆 ,  トライボロジー特性 ,  押込靭性

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (5件)： 皮膜 ,  ミクロ組織 ,  機械的性質評価 ,  けい素 ,  含有量