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J-GLOBAL ID:201702229315265008   整理番号:17A1051373

アナターゼ相TiO2の構造的,光学的およびガス感知性能におけるモル濃度の役割:自動化ネブライザ噴霧熱分解(ANSP)法

Role of molar concentration in structural, optical and gas sensing performance of anatase phase TiO2 nanofilms: automated nebulizer spray pyrolysis (ANSP) technique
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巻: 123  号:ページ: 498,1-9  発行年: 2017年07月 
JST資料番号: D0256C  ISSN: 0947-8396  CODEN: APHYCC  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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自動化ネプライザ噴霧熱分解法によりガラス基板上にTiO2ナノ膜を堆積し,前駆体溶液のモル比に対する結晶構造やテクスチャ係数,表面粗さ,厚さなどの依存性を調べた。ナノ膜は正方晶系の多結晶アナターゼ相で,その結晶サイズや表面粗さや厚さはモル比と共に増加する。これらのナノ膜は亀裂や格子欠陥のない粒状の均一な表面モルフォロジを示す。光透過率はモル比と共に減少し,光学バンドギャップはモル比によって3.20~3.53eVと変化する。C2H6O,CH4O,NH3,C3H8O,C3H6Oの6種類のガスに対するこれらのナノ膜の検出感度を50~350°Cの範囲で調べた。NH3がガス濃度300ppm,150°Cで最高感度応答(89%)を示した。
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分類 (3件):
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分析機器  ,  酸化物薄膜  ,  光物性一般 
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