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J-GLOBAL ID:201702229430322102   整理番号:17A0369403

1.3GHz AlN剪断モード固定した共振器に基づく重量測定バイオセンサ【Powered by NICT】

Gravimetric biosensor based on a 1.3GHz AlN shear-mode solidly mounted resonator
著者 (8件):
資料名:
巻: 239  ページ: 1282-1288  発行年: 2017年 
JST資料番号: T0967A  ISSN: 0925-4005  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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バイオセンサとしてIr/tilted AlN/Ir圧電スタックに基づく堅固にマウントされた共振器の性能を調べた。これらの膜は,圧力,陰極電力と(103)配向AlN種層上の(002)傾斜AlN活性層を堆積に基づく二段階プロセスの温度を変えて堆積した。バイオセンサの安定性に及ぼす周波数の温度係数の影響を最小にするために,非λ/4厚さのSiO_2と非晶質TaO_xの層で作られた絶縁音響ミラー,TCFを 14ppm/°Cにを使用SiO_2薄膜をもつ共振器の質量負荷は1800kHz/pg cm~2の感度をもたらした。表面官能化は,血漿酸化SiO_2表面上のシラン基の結合からなる。グルタルアルデヒドリンク後,ストレプトアビジンはいくつかの種のためのビオチニル化受容体を表面に結合した。トロンビン結合アプタマー(トロンビンに対するTBA29および免疫グロブリンに対するIgG抗体)を試験した。TBA29(9.75kDa)またはIgG抗体(150kDa)のような異なる分子量の種に応答センサを監視した。最後に,TBA29アプタマーで官能化した表面上の異なるトロンビン濃度(4nmから270nmの範囲)にバイオセンサの応答を評価した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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