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J-GLOBAL ID：201702229697373090   整理番号：17A1287414

MPCVDダイヤモンド膜の品質に及ぼすK-Kaバンドのマイクロ波誘電特性の影響を研究した。【JST・京大機械翻訳】

Effect of qualities of MPCVD diamond film on microwave dielectric properties in K-Ka band

著者 (5件)： Liu Yanqing (北京科技大学新材料技術研究院,北京,100083) ,  Ding Minghui (北京科技大学新材料技術研究院,北京,100083) ,  Su Jingjie (北京科技大学新材料技術研究院,北京 100083;清華大学微電子学研究所,北京 100084) ,  Li Yifeng (北京科技大学新材料技術研究院,北京 100083;河北省激光研究所,石家庄050081) ,  Tang Weizhong (北京科技大学新材料技術研究院,北京,100083)
資料名： Dianzi Yuanjian yu Cailiao  (Dianzi Yuanjian yu Cailiao)
巻： 36  号： 4  ページ： 32-36  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2506A  ISSN： 1001-2028  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： MPCVDダイヤモンド膜のK-Kaバンド(18~40GHz)のマイクロ波電子デバイスの応用の要求と,ダイヤモンド膜の誘電特性と品質の間の関係を調査するために,5つのダイヤモンド膜サンプルを調製した。また,Kバンド分体円筒共振器のマイクロ波誘電特性試験装置を確立した。Raman分光法により,ダイヤモンド膜の品質を測定し,Kバンド分体円筒共振器を用いて,ダイヤモンド膜の誘電特性を測定し,Kaバンドの結果と比較した。結果により、異なる品質のサンプルの誘電損失は3.8×10~5~76.8×10~5の範囲にあり、誘電損失はRaman半ピーク幅と密接な関係があることが分かった。同時に、高品質のダイヤモンド膜Kバンドの誘電損失はKaバンドより高く、一方、低品質の場合は逆の結果を示した。これは高品質のダイヤモンド膜の誘電損失が主に導電性により引き起こされるが、低品質のダイヤモンド膜内の高い欠陥密度は単フォノンの音響振動吸収とRayleigh散乱が大きいことによる。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 試験装置 ,  円筒 ,  Raman分光法 ,  *マイクロ波 ,  共振器 ,  欠陥密度 ,  *品質 ,  誘電損失 ,  *誘電性 ,  フォノン
準シソーラス用語： *Kaバンド ,  Kバンド ,  *マイクロ波誘電特性 ,  *ダイヤモンド膜 ,  *マイクロ波プラズマCVD , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： MPCVD diamond films ,  Raman spectra ,  quality ,  split-cylinder resonator ,  dielectric property ,  K-Ka band

分類 (1件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (4件)： MPCVD ,  ダイヤモンド膜 ,  マイクロ波誘電特性 ,  研究