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J-GLOBAL ID：201702229995777714   整理番号：17A1276911

圧電MEMSシリコン片持梁の弾性係数に及ぼす表面キャリア濃度の効果【Powered by NICT】

Surface carrier concentration effect on elastic modulus of piezoelectric MEMS silicon cantilevers

著者 (10件)： Lin Ji-Tzuoh (University of Louisville, Louisville, Kentucky, USA) ,  Shuvra Pranoy D. (University of Louisville, Louisville, Kentucky, USA) ,  Liao Wenjun (Vanderbilt University, Nashville, Tennessee, USA) ,  McNamara Shawns (University of Louisville, Louisville, Kentucky, USA) ,  Walsh Kevin M. (University of Louisville, Louisville, Kentucky, USA) ,  Arutt Charlie N. (Vanderbilt University, Nashville, Tennessee, USA) ,  Gong Huiqi (Vanderbilt University, Nashville, Tennessee, USA) ,  Davison Jim L. (Vanderbilt University, Nashville, Tennessee, USA) ,  Alles Michael L. (Vanderbilt University, Nashville, Tennessee, USA) ,  Alphenaar Bruce W. (University of Louisville, Louisville, Kentucky, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： TRANSDUCERS  ページ： 1175-1178  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近表面キャリア濃度を変化させてシリコン弾性係数の変化の実験的観測を提供する。ピエゾ抵抗MEMSカンチレバーを同時にUV照射下でのシリコンの電気的および機械的性質の間の相関を調べるための抵抗と共振周波数を検出できることを用いた。抵抗と共鳴周波数の両方はUVの火力発電に敏感なので,同様に処理された参照デバイスは,熱効果と他の環境変化からの光効果を分離した。理論はSi表面付近の電荷キャリア生成は観測されたデータと一致して弾性係数を変化させることを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 火力発電 ,  *片持梁 ,  紫外線照射 ,  *圧電気 ,  熱影響 ,  *弾性係数 ,  機械的性質 ,  *MEMS ,  *キャリア密度 ,  共振周波数 ,  *ケイ素
準シソーラス用語： 電荷キャリア ,  環境変化 ,  圧電抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  半導体の表面構造  (BK15030A) ,  共振器  (NC04050Y) ,  電磁気学一般  (BD01020N) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 圧電 ,  MEMS ,  シリコン ,  片持梁 ,  弾性係数 ,  キャリア濃度