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J-GLOBAL ID：201702230183560875   整理番号：17A1849647

両側導波路同軸線型線形マイクロ波プラズマ源の研究【JST・京大機械翻訳】

Novel Type of Linear Microwave Plasma Source Based on Both Sides Waveguide Coaxial-Line Coupling

著者 (6件)： Zhang Tiantian (武漢工程大学 材料科学与工程学院,等離子体化学与新材料湖北省重点実験室 武漢,430073) ,  Ma Zhibin (武漢工程大学 材料科学与工程学院,等離子体化学与新材料湖北省重点実験室 武漢,430073) ,  Huang Hongwei (武漢工程大学 材料科学与工程学院,等離子体化学与新材料湖北省重点実験室 武漢,430073) ,  Wang Chuanxin (武漢工程大学 材料科学与工程学院,等離子体化学与新材料湖北省重点実験室 武漢,430073) ,  Fu Qiuming (武漢工程大学 材料科学与工程学院,等離子体化学与新材料湖北省重点実験室 武漢,430073) ,  Wang Jianhua (武漢工程大学 材料科学与工程学院,等離子体化学与新材料湖北省重点実験室 武漢,430073)
資料名： Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao  (Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao)
巻： 37  号： 6  ページ： 574-580  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2159A  ISSN： 1672-7126  CODEN： CKKSDV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 本論文では、両側導波路同軸線結合構造を有する新型マイクロ波プラズマ源を紹介した。電磁場シミュレーション計算とプラズマ発光スペクトル測定により同軸カップリング反応器の内部構造を最適化し、線形プラズマ源の空洞構造がプラズマの均一性と長さに与える影響を研究し、ロッド状サンプル表面にダイヤモンド薄膜の堆積実験を行った。実験結果は以下を示す。同軸線状の新しい線形プラズマ源は,アンテナの表面に円柱状のプラズマを形成することができて,プラズマの均一性と長さは空洞の内部構造によって影響を受けて,誘導したアンテナの外径は4mmであり,単一モード整合棒は,10mmの空洞構造によって得ることができた。プラズマの均一性は90%以上であった。ロッド状サンプルの表面の異なる位置におけるダイヤモンド膜の質量とプラズマ堆積環境の測定により、プラズマの均一性をさらに検証した。さらに,線形プラズマの長さはアンテナの長さと作動圧力によって影響を受け,これは主に反応器内の電磁場の分布とマイクロ波の減衰に関連していることが示された。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アンテナ ,  *同軸線路 ,  *マイクロ波 ,  *線形性 ,  シミュレーション ,  電磁場 ,  最適化 ,  内部構造 ,  *プラズマ ,  *プラズマ源 ,  *導波路 ,  単一モード ,  反応器
準シソーラス用語： ダイヤモンド膜 ,  *マイクロ波プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Linear microwave plasma ,  Electromagnetic filed ,  Uniformity ,  Diamond films

分類 (2件)： アンテナ  (ND06000M) ,  プラズマ装置  (BJ02082I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 導波路 ,  同軸線 ,  線形 ,  マイクロ波プラズマ ,  研究