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J-GLOBAL ID：201702230266232367   整理番号：17A1221223

反射分光法によるカーボン系硬質膜の摩擦面構造変化層のその場評価装置

In-Situ Observation Apparatus for Structure Change of Topmost Layer of Cabonaceous Hard Coatings during Sliding with Refrectance Spectroscopty

著者 (3件)： 西村英典 (名古屋大学 大学院工学研究科 機械理工学専攻) ,  上坂裕之 (岐阜大学 工学部 機械工学科) ,  梅原徳次 (名古屋大学 大学院工学研究科 機械理工学専攻)
資料名： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻： 62  号： 7  ページ： 461-464(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： カーボン系硬質膜は,高い硬度と耐摩耗性を特長とし,種々の環境(大気,窒素,水,油)状態下で,低摩擦を発現する。CN_x膜やDLC膜における10nm軟質層と超低摩擦の関係が,多くの研究者らによって,高価な測定装置によって調査されてきた。筆者らは,大原らが開発した簡便な反射分光法を用いて,「その場評価装置」を開発し,評価を試みた。本稿では,その装置と試行を,次項に沿って紹介する。1)反射分光法の原理と摩擦面構造変化層の評価手法(評価装置の構成,絶対反射率の計算式,CN_x膜の測定),2)乾燥Arガス中のCN_x膜構造変化層の摩擦係数に及ぼす影響の評価,3)その他の摩擦環境下でのカーボン系硬質膜の構造変化層の評価,4)カーボン系硬質膜の低摩擦発現メカニズム解明の可能性。

シソーラス用語： *セラミック被覆 ,  *光学的測定 ,  *計測器 ,  *トライボロジー ,  摩擦係数 ,  スペクトロスコピー ,  摩擦試験 ,  技術開発 ,  有効性
準シソーラス用語： *窒化炭素 ,  *摩擦特性 ,  *その場測定 ,  硬質膜 ,  摩擦面 ,  構造変化 ,  超低摩擦 ,  摩擦メカニズム ,  評価手法 ,  反射分光法 ,  計測技術

分類 (6件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (12件)：

• 1) N. UMEHARA, K. KATO & T. SATO:Tribological Properties of Carbon Nitride Coatings by Ion Beam Assisted Deposition, Proc. of ICMCTF, San Diego (1998) 151.
• 2) K. KATO, N. UMEHARA & K. ADACHI:Friction, Wear and N2-Lubrication of Carbon Nitride Coatings: A Review, Wear, 254 (2003) 1062-1069.
• 3) 野老山・梅原・冨田・竹之下:窒化炭素膜の極低摩擦現象に及ぼす相手面表面粗さと移着膜の影響,日本機械学会論文集(C編),69,686(2003) 2824-2829.
• 4) T. TOKOROYAMA, M. GOTO, N. UMEHARA, T. NAKAMURA & F.HONDA:Effect of Nitrogen Atoms Desorption on the Friction of the CNx Coating against Si₃N₄ Ball in Nitrogen Gas, Tribology Letters, 22, 3 (2006) 215-220.
• 5) 王・野老山・梅原・不破:CNx膜の摩擦摩耗特性に及ぼすカーボンオーバーコートの影響,日本機械学会論文集(C編),75,754(2009) 1859-1865.

タイトルに関連する用語 (6件)： 反射分光法 ,  カーボン ,  硬質膜 ,  摩擦面 ,  構造変化 ,  評価装置