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J-GLOBAL ID：201702230705126480   整理番号：17A1555097

バイオテクノロジー包装応用のためのマイクロマシン加工されたポリジメチルシロキサン錐体チップアレイの作製【Powered by NICT】

Fabrication of the micromachined poly-dimethylsiloxane pyramidal tips arrays for biotechnology packaging applications

著者 (6件)： Guan Yong (Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Zeng Qinghua (Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Chen Jing (Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China) ,  Meng Wei (Shenzhen Graduate School, Peking University, 518055, China) ,  Jin Yufeng (Shenzhen Graduate School, Peking University, 518055, China) ,  Ma Shenglin (Department of Mechanical & Electrical Engineering, Xiamen University, Fujian, 361005, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICEPT  ページ： 162-164  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリジメチルシロキサン錐体材料で作られた簡単な,無毒性,及び低コストチップアレイ,将来の民間生物医学分野における大規模応用が期待されているを示した。シリカおよび窒化けい素の層が熱酸素と低圧化学気相堆積プロセスによる腐食マスクとしてシリコンウエハ上に成長させた,連続的にした。リソグラフィープロセスの後,水酸化カリウムエッチング液による湿式エッチングしたウエハ,深い切欠きの鋭さは腐食の時間を制御することにより制御することができた。次にポリジメチルシロキサンを真空中で注入し,満たされている。真空を調整することにより,注入温度と時間,ポリジメチルシロキサン無欠陥充填を達成した。プロセス最適化により,深い切欠きからのポリジメチルシロキサンを除去した。チップの品質はステップ計,光学顕微鏡,および走査型電子顕微鏡により試験し,特性評価し,結果は,ストリッピング効果は非常に良好で,ポリジメチルシロキサンピラミッド型チップアレイと他の欠陥の表面上のバリでないことを示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *錐体 ,  光学顕微鏡 ,  切欠き ,  *ポリジメチルシロキサン ,  走査電子顕微鏡 ,  水酸化カリウム ,  *バイオテクノロジー ,  化学蒸着 ,  エッチング液 ,  窒化ケイ素 ,  *マイクロマシン ,  腐食 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： プロセス最適化 ,  シリコンウエハ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： バイオテクノロジー ,  包装 ,  応用 ,  マイクロマシン加工 ,  ポリジメチルシロキサン ,  錐体 ,  アレイ ,  作製