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J-GLOBAL ID：201702230706580826   整理番号：17A0576549

圧電振動と静電吸着によるマルチスライダ式リニアアクチュエータの検討

著者 (2件)： XU Li (東大) ,  山本晃生 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C21  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 筆者らはレール振動と同期した静電吸着により複数のスライダを独立に駆動するリニアアクチュエータを提案している。これまでの研究でボイスコイルモータを加振源とした装置で原理の検証を行っているが,本研究ではアクチュエータの小型化を実現するために,圧電素子を利用した試作機を製作した。kHzオーダの振動周波数で,複数のスライダの独立した動作を実現できることを確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： *圧電気振動 ,  *アクチュエータ ,  *吸着 ,  *レール ,  *圧電素子 ,  *振動数 ,  *リニアモータ
準シソーラス用語： 圧電振動 ,  リニアアクチュエータ ,  静電吸着 ,  振動周波数 ,  ボイスコイルモータ

分類 (3件)： 線路構造,軌道材料  (RC07030B) ,  LCR部品  (NA05030D) ,  線形加速器  (BE02030I)

引用文献 (2件)：

• 徐,山本: 振動と静電吸着によるマルチスライダ式リニアアクチュエータの検討,精密工学会春季大会 2016, pp. 407-408 (2016).
• 吉田,岡本,樋口,浜松: スムーズインパクト駆動機構(SIDM) の開発,精密工学会誌 Vol. 65.NO. 1, pp. 111-115 (1999).

タイトルに関連する用語 (5件)： 圧電振動 ,  静電吸着 ,  マルチ ,  スライダ ,  リニアアクチュエータ