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J-GLOBAL ID：201702230841819411   整理番号：17A1187252

FET型センサの酸化ガスの吸着と脱着に及ぼす前バイアスの影響【Powered by NICT】

Effect of a pre-bias on the adsorption and desorption of oxidizing gases in FET-type sensor

著者 (6件)： Wu Meile (Department of Electrical and Computer Engineering and Inter-University Semiconductor Research Center, Seoul Nation University, Seoul 151-742, Republic of Korea) ,  Kim Chang-Hee (Samsung Advanced Institute of Technology, Samsung Electronics Co., Ltd., Samsungjeonja-ro, Hwaseong-si, Gyeonggi-do, 18448, Republic of Korea) ,  Shin Jongmin (Department of Electrical and Computer Engineering and Inter-University Semiconductor Research Center, Seoul Nation University, Seoul 151-742, Republic of Korea) ,  Hong Yoonki (Department of Electrical and Computer Engineering and Inter-University Semiconductor Research Center, Seoul Nation University, Seoul 151-742, Republic of Korea) ,  Jin Xiaoshi (College of Information Science and Engineering, Shenyang University of Technology, Shenyang 110870, China) ,  Lee Jong-Ho (Department of Electrical and Computer Engineering and Inter-University Semiconductor Research Center, Seoul Nation University, Seoul 151-742, Republic of Korea)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 245  ページ： 122-128  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： FETの制御ゲート(CG)とフローティングゲート(FG)の間に形成されたセンシング材料のフラットバンド電圧変化を利用した電界効果トランジスタ(FET)型ガスセンサの読み出し動作を提案し効率的なプレバイアス法。提案した方法は,回復速度を大きく改善し,180°Cで10倍以上回復時間,加熱器により消費される電力を低減できるを短縮した。プレバイアスの極性は応答,検出および回復速度に影響を与えるので,検出されたガスの酸化還元特性を同定することができた。プレバイアス効果を実験的に検証するために,200nm厚SnO_x層のセンシング材料とセンサへのバイアスと読書のためのパルスを適用例としてNO_2ガスを検出した。機構を,エネルギーバンド理論により理論的に説明した。バイアス法は有意に検出特性,ガス同定,と電力消費を改善する新しいバイアス方式を開くと期待される。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： パルス ,  ガスセンサ ,  電力 ,  フローティングゲート ,  *センサ ,  極性 ,  電力消費 ,  *酸化 ,  FET【トランジスタ】 ,  加熱器 ,  *バイアス
準シソーラス用語： エネルギー帯 ,  酸化還元特性 ,  回復時間 ,  フラットバンド電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 前バイアス効果 ,  応答 ,  回復速度 ,  パルス測定 ,  FETプラットフォーム ,  ガスセンサ

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： FET ,  酸化ガス ,  吸着 ,  脱着 ,  バイアス