ドラムベースの金属様堆積のためのNb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>スパッタ臨界速度の反応ダイナミクス解析

SONG Shigeng; LI Cheng; CHU Hin On; GIBSON Des

文献

J-GLOBAL ID：201702230846435497 整理番号：17A0944685

ドラムベースの金属様堆積のためのNb₂O₅スパッタ臨界速度の反応ダイナミクス解析

Reactive dynamics analysis of critical Nb₂O₅ sputtering rate for drum-based metal-like deposition

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巻： 56 号： 4 ページ： C206-C210 発行年： 2017年02月01日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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酸化物薄膜

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ドラムベースの金属様堆積のためのNb2O5スパッタ臨界速度の反応ダイナミクス解析

ドラムベースの金属様堆積のためのNb₂O₅スパッタ臨界速度の反応ダイナミクス解析