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J-GLOBAL ID：201702231119079739   整理番号：17A1550613

RFスパッタリングにより蒸着したZnS薄膜の物理的性質の研究【Powered by NICT】

Study of the physical properties of ZnS thin films deposited by RF sputtering

著者 (7件)： Le Donne A. (Dept. of Materials Science and Solar Energy Research Center (MIBSOLAR), University of Milano-Bicocca, Via Cozzi 55, 20125 Milan, Italy) ,  Cavalcoli D. (Dept. of Physics and Astronomy, University of Bologna, V.le Berti Pichat 6/2, 40127 Bologna, Italy) ,  Mereu R.A. (Dept. of Materials Science and Solar Energy Research Center (MIBSOLAR), University of Milano-Bicocca, Via Cozzi 55, 20125 Milan, Italy) ,  Perani M. (Dept. of Physics and Astronomy, University of Bologna, V.le Berti Pichat 6/2, 40127 Bologna, Italy) ,  Pagani L. (Dept. of Materials Science and Solar Energy Research Center (MIBSOLAR), University of Milano-Bicocca, Via Cozzi 55, 20125 Milan, Italy) ,  Acciarri M. (Dept. of Materials Science and Solar Energy Research Center (MIBSOLAR), University of Milano-Bicocca, Via Cozzi 55, 20125 Milan, Italy) ,  Binetti S. (Dept. of Materials Science and Solar Energy Research Center (MIBSOLAR), University of Milano-Bicocca, Via Cozzi 55, 20125 Milan, Italy)
資料名： Materials Science in Semiconductor Processing  (Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 71  ページ： 7-11  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1055A  ISSN： 1369-8001  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnSは多くの用途に採用された多用途で,豊富で,環境に優しい半導体材料である。本論文では,ZnS薄膜は最も簡単で拡張可能な真空法,室温高周波スパッタリング技術であることの一つにより成長させた。原子間力顕微鏡,X線回折,吸収および光ルミネセンス分光法により行ったコンパクトで低欠陥ZnS層を得るために必要な成長条件を同定した広範な特性化,多くの応用で必要とされた。最適化薄膜は文献に関して,カルコゲン化物薄膜太陽電池における光インタフェイスと代替バッファ層に特に適したと非常に低い表面粗さをもつナノ結晶ZnSで構成されている。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *薄膜 ,  バッファ層 ,  光ルミネセンス ,  カルコゲン化物 ,  半導体材料 ,  ナノ結晶 ,  *RFスパッタリング ,  原子間力顕微鏡 ,  キャラクタリゼーション ,  *硫化亜鉛 ,  X線回折 ,  最適化
準シソーラス用語： 薄膜太陽電池 ,  成長条件 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： RFスパッタリング ,  蒸着 ,  ZnS ,  薄膜 ,  物理的性質 ,  研究