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J-GLOBAL ID：201702231268973571   整理番号：17A1940694

表面平坦化のための光電子放出プラズマイオン源の発光分光観測

Optical emission spectroscopy observation of photoemission-assisted plasma ion source for Surface flattening

著者 (4件)： KAMATA N. (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  AJIA S. (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  OGAWA S. (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TAKAKUWA Y. (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Proceedings of International Symposium on Dry Process  (Proceedings of International Symposium on Dry Process)
巻： 39th  ページ： 117-118  発行年： 2017年 
JST資料番号： Y0378B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 発光分光法 ,  *アルゴン ,  *放射線束 ,  *表面構造 ,  *平坦性 ,  *圧力効果 ,  *光電子放出 ,  *イオン源 ,  銅 ,  基板 ,  電流電圧特性 ,  *プラズマ源 ,  放射強度 ,  イオン密度 ,  *表面 ,  *スパッタリング ,  ウエハ【IC】
準シソーラス用語： イオンフラックス ,  金属表面

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 平坦化 ,  光電子放出 ,  プラズマ ,  イオン源 ,  発光分光 ,  観測