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J-GLOBAL ID：201702231315858749   整理番号：17A0556818

SEM内動作するMEMS援用ナノ引張試験技術

著者 (2件)： 藤井達也 (秋田県大 システム科学技術) ,  生津資大 (愛知工大 工)
資料名： 機械の研究  (Science of Machine)
巻： 69  号： 5  ページ： 395-400  発行年： 2017年05月01日 
JST資料番号： F0147A  ISSN： 0368-5713  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ナノ材料の信頼性評価技術として,MEMS援用引張試験デバイスを装備した走査電子顕微鏡を用いて,その場観察しながら実験を行うSEM内ナノ引張試験技術を紹介した。本デバイスは,試験片に引張負荷を与える静電アクチュエータ,試験片の変位を計測する駆動側静電容量センサおよび試験片を固定する試験片把持ステージで構成される。集束イオンビーム加工したSiナノワイヤの引張試験を通して本デバイスの基本性能を確認し,ナノ材料の機械物性のサイズ効果やダメージ効果を評価することができた。

シソーラス用語： *MEMS ,  *走査電子顕微鏡 ,  *引張試験 ,  *ナノ材料 ,  評価 ,  その場観察 ,  ナノワイヤ ,  ケイ素 ,  アクチュエータ ,  センサ
準シソーラス用語： 信頼性評価 ,  静電アクチュエータ ,  静電容量センサ

分類 (2件)： 材料試験  (HB02020U) ,  集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (4件)： SEM ,  MEMS ,  援用 ,  引張試験