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J-GLOBAL ID：201702231453629799   整理番号：17A1381666

位相シフト干渉計のための反復アルゴリズムの振動減感作能力の増強【Powered by NICT】

Enhancement of vibration desensitising capability of iterative algorithms for phase-shifting interferometers

著者 (4件)： Liu Qian (Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China) ,  Yuan Daocheng (Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China) ,  Yuan Daocheng (School of Mechanical Engineering, Xi’an Jiaotong University, No. 28, Xianning West Road, Xi’an, Shaanxi 710049, China) ,  He Huabin (Institute of Machinery Manufacturing Technology, China Academy of Engineering Physics, 64th Mianshan Road, Mianyang, Sichuan 621000, China)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 98  ページ： 31-36  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 振動に対する位相シフト干渉計(PSIs)の感度は,非定常な環境への応用を阻害する。反復アルゴリズムはPSIsに及ぼす振動の影響を除感作を開発したが,それらのdesensitising能力を推定初期値によって制限されている。本論文では,空間キャリア法を提案し,付加的な空間キャリア干渉縞から検索された波面位相を初期値として用いた。空間キャリア,振動免疫と符号決定の利点のために,干渉計は振動下にある場合でも反復は正確な値に収束することができた。測定された表面の横方向移動の可能性を低減するために,サブサンプリング戦略は,必要な傾斜角を低減するために提案し,反復法の計算時間を減少させる付加的な利点である。計算機シミュレーションと実験により,提案手法の有効性を検証した。結果は,反復アルゴリズムの振動desensitising能力は提案した方法により有意に増強されることを示した。提案した方法は低コストで振動desensitising能力を改善する,高度に適合する。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *脱感作 ,  CPU時間 ,  干渉縞 ,  計算機シミュレーション ,  波面 ,  傾斜角 ,  *感作 ,  *位相 ,  逐次近似 ,  *干渉計
準シソーラス用語： サブサンプリング ,  初期値 ,  非定常性 ,  *反復アルゴリズム ,  *位相シフト干渉計 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 計測 ,  位相シフト干渉法 ,  反復アルゴリズム ,  振動脱感作

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 位相シフト干渉計 ,  反復アルゴリズム ,  減感作 ,  能力 ,  増強