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J-GLOBAL ID：201702231684992530   整理番号：17A1723490

歪蓄積を用いたフェムト秒パルスのサブナノ秒バーストを用いたレーザ書込み【Powered by NICT】

Laser writing with sub-nanosecond burst of femtosecond pulses using strain accumulation

著者 (5件)： Okhrimchuk Andrey (D. Mendeleyev University of Chemical Technology of Russia, Miusskaya square 9, Moscow 125047, Russia) ,  Fedotov Sergey (D. Mendeleyev University of Chemical Technology of Russia, Miusskaya square 9, Moscow 125047, Russia) ,  Glebov Ivan (D. Mendeleyev University of Chemical Technology of Russia, Miusskaya square 9, Moscow 125047, Russia) ,  Sigaev Vladimir (D. Mendeleyev University of Chemical Technology of Russia, Miusskaya square 9, Moscow 125047, Russia) ,  Kazansky Peter (D. Mendeleyev University of Chemical Technology of Russia, Miusskaya square 9, Moscow 125047, Russia)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： CLEO/Europe-EQEC  ページ： 1  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザ直接描画とマイクロマシニングは集積光学とマイクロフルイディクスの範囲の印刷可能な平坦な光学と多次元光学データ貯蔵への応用の多様性のかなりの関心を集めている。フェムト秒発振器または再生増幅器で発生させたフェムト秒パルスの規則的な列は,レーザ材料処理で一般的に使用される。フェムト秒パルスのサブマイクロ秒バーストを用いたマイクロマシニングは熱蒸着[1+2]の蓄積と調節を介して生成された構造の形態制御に適用した。修飾領域の圧力波と希薄化を加熱に加えてレーザ誘起構造変化[3]を決定する重要な因子である。しかし,希薄化のバースト利用蓄積とレーザ加工実験が不足している。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 集積光学 ,  *ナノ秒 ,  フルイディクス ,  真空蒸着 ,  データ蓄積 ,  *バースト ,  *レーザ ,  発振器 ,  マイクロフルイディクス ,  レーザ材料 ,  マイクロマシニング ,  *フェムト秒 ,  レーザ加工
準シソーラス用語： レーザ誘起 ,  レーザ直接描画 ,  *フェムト秒パルス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (7件)： 歪蓄積 ,  フェムト秒パルス ,  サブ ,  ナノ秒 ,  バースト ,  レーザ ,  書込み