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J-GLOBAL ID：201702231710054038   整理番号：17A1383252

マグネトロンスパッタV Al Si-N四元系皮膜の時効硬化【Powered by NICT】

Age hardening of a magnetron sputtered V-Al-Si-N quaternary coating

著者 (10件)： Wang Enqing (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, Zhejiang 315201, China) ,  Wang Enqing (School of Aeronautics and Astronautics, Central South University, Changsha, Hunan 410083, China) ,  Ge Fangfang (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, Zhejiang 315201, China) ,  Zhu Ping (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, Zhejiang 315201, China) ,  Li Peng (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, Zhejiang 315201, China) ,  Meng Fanping (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, Zhejiang 315201, China) ,  Shu Rui (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, Zhejiang 315201, China) ,  Yue Jianling (School of Aeronautics and Astronautics, Central South University, Changsha, Hunan 410083, China) ,  Yue Jianling (State Key Laboratory of Powder Metallurgy, Central South University, Changsha, Hunan 410083, China) ,  Huang Feng (Key Laboratory of Marine Materials and Related Technologies, Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo, Zhejiang 315201, China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 324  ページ： 429-437  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： V_0 38Al_0 0.58Si_0 0.04N被覆は700°Cから1100°Cまでの様々な温度で反応性マグネトロンスパッタリングにより調製し,続いて等温焼なまし実験した。アニーリング温度の関数としての微細構造と機械的性質の変化は,ナノインデンテーション試験,X線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),および透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて調べた。,等温アニーリング後に~24%の硬さの800°Cでの増加に伴って,時効硬化効果は,局所的に形成されたナノメータサイズのコヒーレントドメインと共に粒界偏析に起因すると考えられるが観察された。900°Cでアニールした試料は,定義された境界をもつ圧縮したCa-柱状構造を示し,親柱と柱の境界に沿って偏析しより非晶質相は部分的にV濃縮され,Alのコヒーレントなナノメートルサイズのドメインを含んでいた。しかし,1100°Cでのhcp-AlNの出現を伴い,被覆の硬度は低下した。微細亀裂と剥離の両方コーティング中に生成した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 微小亀裂 ,  ナノインデンテーション ,  *時効硬化 ,  *アルミニウム ,  焼なまし ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *ケイ素 ,  被覆 ,  コヒーレンス ,  硬度 ,  微細構造 ,  窒化アルミニウム ,  粒界偏析 ,  機械的性質
準シソーラス用語： 反応性マグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 時効硬化 ,  被覆 ,  V Al Si N ,  粒界偏析 ,  スピノーダル状分解

分類 (2件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (6件)： マグネトロンスパッタ ,  Al ,  Si ,  四元系 ,  皮膜 ,  時効硬化