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J-GLOBAL ID:201702232416322732   整理番号:17A1088128

アクティブシリコンフォトニックバイオセンサのシステムレベルの統合

System-level integration of active silicon photonic biosensors
著者 (9件):
資料名:
巻: 10061  ページ: 100610I.1-100610I.15  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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筆者等は,1mm2の小さなシリコンダイに基づいて,複雑なマイクロ流体,電気的,および光学的統合を可能にする,新しいシステムレベルのアーキテクチャを開発した。シリコンダイは,一体化されたゲルマニウム光検出器と単一の光結合装置とを含み,16×16mm2のエポキシパッケージに埋め込まれ,マイクロ流体と電気との統合を可能にする。また,シリコンダイは,製造コストを大きく低減し,光起電力モードでのオンチップのゲルマニウム光検出器により,低い光起電力でも生物種のフォトニック検出の監視に対する十分な能力を有する。また,筆者等は,ミスアライメントに対する横方向の許容誤差が,より大きなコミュニティの間での使い捨て可能なバイオチップの幅広い適応を可能にする光結合装置を実証する。
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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流体式制御機器  ,  分析機器 
タイトルに関連する用語 (1件):
タイトルに関連する用語
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