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J-GLOBAL ID:201702232468860554   整理番号:17A1555093

グラフェンの複合薄膜の酸素および水バリア性能とポリジメチルシロキサン(PDMS)【Powered by NICT】

Oxygen and water barrier performance of the composite thin film of graphene and polydimethylsiloxane (PDMS)
著者 (5件):
資料名:
巻: 2017  号: ICEPT  ページ: 143-147  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ポリジメチルシロキサン(PDMS)とグラフェンからなるカプセル化のための新しい複合薄膜を実証した。グラフェンは疎水性材料であり,水分は,グラフェンの表面に侵入しないことを引き起こした。グラフェンは通常,化学蒸着(CVD)法により作製した。グラフェンの原子間距離が非常に小さい;近くの層に一つの層から水蒸気チャネルを切断,酸素,水蒸気及び粒子の障壁を達成した。グラフェンとPDMSは高い透過率を持ち,この方法は種々の光電素子で広く使用されるである。一方,グラフェンは優れた熱散逸温度勾配と接合温度を減少させ,従ってデバイスの包括的な性能と信頼性を改善することができることが明らかになった。さらに,PDMSは良好な粘着性特性,グラフェンに非常に良く一致し,同時にカプセル化の要求を満たすを持っている。Ca膜試験を用いて,複合薄膜は,それらの中で最大の水の酸素障壁効果を持つことを見出した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 

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