文献

J-GLOBAL ID：201702232534450700   整理番号：17A1636686

標準CMOS0.35μmプロセスにおけるコンパクト4ビットRF MEMSコンデンサバンクの設計,製作と特性化【Powered by NICT】

Design, fabrication and characterization of compact 4-bit RF MEMS capacitor bank in standard CMOS 0.35μm process

著者 (2件)： Aziz Ahmed Abdel (University of Waterloo, Waterloo ON, Canada N2L 3G1) ,  Mansour Raafat R. (University of Waterloo, Waterloo ON, Canada N2L 3G1)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IMS  ページ： 572-574  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 10:1までの同調範囲をもつ3~10GHzの周波数範囲で動作するように設計した4ビットスイッチドキャパシタバンクの設計と製作について報告した。0.6mm×0.9mmコンデンサバンクを作製するために使用される最適化されたマスクレスCMOS後処理技術。梁における残留応力を調整するための極低温冷却を用いたドライエッチングを用いた方法を提案した。コンデンサを理論的および実験的に解析した。Qの測定値~5の分析は,コンデンサのQ値を増強する方法を示唆する測定は10GHzまでの自己共振の符号をもつ0.15~1.2pFの範囲をカバーする十六の異なる状態を示さない。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *コンデンサ ,  極低温 ,  共振 ,  残留応力 ,  Q値 ,  周波数 ,  *キャラクタリゼーション ,  後処理 ,  *CMOS ,  最適化 ,  ドライエッチング
準シソーラス用語： 同調範囲 ,  *コンデンサバンク ,  *RF MEMS , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： フィルタ一般  (NC04021I) ,  LCR部品  (NA05030D)

タイトルに関連する用語 (10件)： 標準 ,  プロセス ,  コンパクト ,  4ビット ,  RF ,  MEMS ,  コンデンサバンク ,  設計 ,  製作 ,  特性化