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J-GLOBAL ID：201702232637224322   整理番号：17A1276667

超小型基本モードUHF水晶MEMS発振器【Powered by NICT】

Ultra-miniature fundamental-mode UHF quartz MEMS oscillator

著者 (5件)： Chang David T. (HRL Laboratories, LLC, Malibu, CA, U.S.A.) ,  Yoon Yeong (HRL Laboratories, LLC, Malibu, CA, U.S.A.) ,  Moyer Harris P. (HRL Laboratories, LLC, Malibu, CA, U.S.A.) ,  Brewer Peter D. (HRL Laboratories, LLC, Malibu, CA, U.S.A.) ,  Nguyen Hung D. (HRL Laboratories, LLC, Malibu, CA, U.S.A.)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： TRANSDUCERS  ページ： 187-190  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 石英MEMS共振器は,低コスト,サイズ,重量,電力の長所(CSWaP)による周波数制御応用のための振動子,エレクトロニクスとの統合の可能性と組み合わせたin使用にとって魅力的である。>800MHzの基本モードUHF運転を達成するためにSiGe BiCMOS維持ASICと集積した厚みせん断モード水晶共振要素で構築された超小型,振動子(1mm~3全体積)を提案した。低電力(<25 mW)発振器はアクティブ振動補償なしで優れた加速感度(<10~ 9/g)を達成し,高性能手held/portable応用に適している。石英MEMS振動子の生産性向上のためのイオンビームエッチングを用いた新しい周波数トリミング法を紹介した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 振動子 ,  共振 ,  *基準モード ,  イオンエッチング ,  電子技術 ,  電力 ,  *MEMS ,  周波数 ,  ASIC ,  石英 ,  周波数制御 ,  *発振器
準シソーラス用語： MEMS共振器 ,  *水晶 ,  *超小型 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 基本モード ,  UHF ,  水晶 ,  MEMS ,  発振器