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J-GLOBAL ID：201702233002375173   整理番号：17A0398718

不揮発性メモリ応用のための電荷捕獲中心としてのアンモニアプラズマ官能化グラフェンナノディスクの統合【Powered by NICT】

Integration of ammonia-plasma-functionalized graphene nanodiscs as charge trapping centers for nonvolatile memory applications

著者 (16件)： Wang Jer-Chyi (Department of Electronic Engineering, Chang Gung University, Guishan Dist., Taoyuan 33302, Taiwan) ,  Wang Jer-Chyi (Department of Neurosurgery, Chang Gung Memorial Hospital, Guishan Dist., Taoyuan 33305, Taiwan) ,  Wang Jer-Chyi (Department of Electronic Engineering, Ming Chi University of Technology, Taishan Dist., New Taipei City 24301, Taiwan) ,  Chang Kai-Ping (Department of Electronic Engineering, Chang Gung University, Guishan Dist., Taoyuan 33302, Taiwan) ,  Lin Chih-Ting (Department of Electronic Engineering, Chang Gung University, Guishan Dist., Taoyuan 33302, Taiwan) ,  Su Ching-Yuan (Department of Mechanical Engineering, National Central University, Jhongli Dist., Taoyuan 32001, Taiwan) ,  Guenes Fethullah (Department of Materials Science and Engineering, Izmir Katip Celebi University, Cigli Main Campus, Izmir 35620, Turkey) ,  Boutchich Mohamed (GeePs, CNRS UMR8507 CentraleSupelec, Univ Paris-Sud Sorbonne Universites-UPMC Univ Paris 06, 11 Rue Joliot-Curie, Plateau de Moulon, Gif-sur-Yvette, 91192 Cedex, France) ,  Chen Chang-Hsiao (Department of Automatic Control Engineering, Feng Chia University, Seatwen Dist., Taichung 40724, Taiwan) ,  Chen Ching-Hsiang (Sustainable Energy Development Center, National Taiwan University of Science and Technology, Taipei 10607, Taiwan) ,  Chen Ching-Shiun (Center for General Education, Chang Gung University, Guishan Dist., Taoyuan 33302, Taiwan) ,  Li Lain-Jong (Institute of Atomic and Molecular Sciences, Academia Sinica, Taipei 10617, Taiwan) ,  Li Lain-Jong (Physical Sciences and Engineering Division, King Abdullah University of Science and Technology, Thuwal 23955-6900, Saudi Arabia) ,  Lai Chao-Sung (Department of Electronic Engineering, Chang Gung University, Guishan Dist., Taoyuan 33302, Taiwan) ,  Lai Chao-Sung (Department of Nephrology, Chang Gung Memorial Hospital, Guishan Dist., Taoyuan 33305, Taiwan) ,  Lai Chao-Sung (Department of Materials Engineering, Ming Chi University of Technology, Taishan Dist., New Taipei City 24301, Taiwan)
資料名： Carbon  (Carbon)
巻： 113  ページ： 318-324  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0270B  ISSN： 0008-6223  CODEN： CRBNA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 不揮発性メモリ応用のための電荷捕獲サイト(CTSs)として,NH_3プラズマを用いて官能化したグラフェンナノディスク(GND)を研究した。作製プロセスはAuナノ粒子(Au NPs)のパターン形成,その厚さはエッチングにGND密度とサイズを調整するために調整されるに依存している。8×10~11cm~ 2と直径約20nmの高いGND密度を達成した。NH_3プラズマによるGNDの官能化は,対話型システムとして作用するNH~+官能基を生成し,Raman及びFourier変換赤外分光法で観察された。は本質的にGNDsの対話型システムの密度を増強し,結果として,メモリウインドウは2.4V以上になると10~4運転サイクル後安定であった。電荷損失は10年間データ保持試験のための10%以下であり,この低温プロセスはフレキシブル基板上に低コスト不揮発性メモリ応用に適している。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： フレキシブル基板 ,  パターン形成 ,  *官能化 ,  *プラズマ ,  *不揮発性メモリ
準シソーラス用語： ローコスト ,  低温プロセス ,  データリテンション ,  電荷損失 ,  官能基 ,  金ナノ粒子 ,  *電荷捕獲 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (7件)： 不揮発性メモリ ,  応用 ,  電荷捕獲 ,  アンモニア ,  プラズマ ,  官能化 ,  統合