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J-GLOBAL ID：201702233085189522   整理番号：17A1062700

多重スケールでの薄膜太陽電池の相関顕微鏡分析【Powered by NICT】

Correlative microscopy analyses of thin-film solar cells at multiple scales

著者 (1件)： Abou-Ras Daniel (Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH, Hahn-Meitner-Platz 1, Berlin, 14109 Germany)
資料名： Materials Science in Semiconductor Processing  (Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 65  ページ： 35-43  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1055A  ISSN： 1369-8001  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,簡単な概観は,個々の層の間の界面または薄膜スタックにおける拡張構造欠陥の解析のための透過型電子顕微鏡(TEM)および走査型電子顕微鏡(SEM)とその関連技術(電子回折,エネルギー分散X線分光分析,電子エネルギー損失分光法,電子ホログラフィー,電子後方散乱回折,電子ビーム誘起電流,陰極線ルミネセンス)を適用する方法を紹介した。本研究で与えられた全ての例は,Cu(In, Ga)Se_2薄膜太陽電池で記録した,しかし,実験的アプローチは,類似した薄膜半導体デバイスに使用される可能性がある。特定のスペクトルは同じ同一試料面積に及ぼす各種技術の適用である,構造的,組成的,および電気的性質への洞察を高めるために。(収差補正)TEMのために,そのような測定の空間分解能は,サブnmスケールでと低くできる。しかし,半導体デバイスを扱う場合,大きなスケールでの電気的および光電子特性を特性化し,10nmもmmまでのことがしばしば必要であり,SEMがより適切である。同時に,これらの大規模解析の,強化された統計を提供した。本総説では,走査型プローブ及び光学顕微鏡と組み合わせたSEM技術を適用し,同一位置にするか概説した。相関顕微鏡法を用いた薄膜太陽電池の構造-特性相関の完全な解析を提供するマルチスケールツールボックス。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電子エネルギー損失分光法 ,  走査 ,  走査電子顕微鏡 ,  半導体薄膜 ,  空間分解能 ,  陰極線ルミネセンス ,  電子回折 ,  光学顕微鏡 ,  *半導体素子 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  文献展望 ,  電気的性質 ,  電子ビーム ,  透過型電子顕微鏡
準シソーラス用語： *薄膜太陽電池 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 透過型電子顕微鏡観察 ,  走査型電子顕微鏡観察 ,  薄膜太陽電池 ,  相関解析

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 多重スケール ,  薄膜太陽電池 ,  相関