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J-GLOBAL ID：201702233300912401   整理番号：17A1391513

自動試験装置を用いた相互接続故障の診断のための新しいTDR試験法【Powered by NICT】

Novel TDR Test Method for Diagnosis of Interconnect Failures Using Automatic Test Equipment

著者 (3件)： Kim Gyu-Yeol (School of Electronic and Electrical Engineering, College of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, South Korea) ,  Kang Shin-Ho (Memory EDS Team, Giheung Hwaseong Complex, Samsung Electronics, Hwaseong, South Korea) ,  Nah Wansoo (School of Electronic and Electrical Engineering, College of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, South Korea)
資料名： IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement  (IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement)
巻： 66  号： 10  ページ： 2638-2646  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0232A  ISSN： 0018-9456  CODEN： IEIMAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,新しい効率的な相互接続故障診断法,時間領域反射率測定(TDR)を用いた「伝搬遅延パス故障(TPDPF)の時間」と呼ばれているを示唆した。提案TPDPFは自動試験装置(ATE)のTDR機能,スキューチャネル長を較正における専用している高並列プローブカードにおける相互接続故障の診断に適用した。TPDPF法は短端固定具(金属ウエハ)の助けを借りて相互接続故障の診断,本論文で提案したに非常に有効であることが示されている。提案TPDPF法の妥当性をチェックするために,自動プローブカード診断システムを構築し,高い並列性プローブカードの全相互接続を診断するために僅か数分をとることが判明した。さらに,実行された診断システムは,自動実行による熟練した手を必要とせず,プローブカード管理とウエハ試験の効率の約20倍の増強を可能にした。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *故障 ,  固定具 ,  ゆがみ ,  *自動試験 ,  故障診断 ,  *相互接続
準シソーラス用語： 診断システム ,  プローブカード ,  チャネル長 ,  伝搬遅延 ,  試験方法 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 自動試験 ,  相互接続 ,  故障 ,  診断 ,  TDR ,  試験法