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J-GLOBAL ID：201702233592439300   整理番号：17A1489571

室温でのPECVDによるダイヤモンド状炭素を用いた高硬度IR光学コーティングの合成【Powered by NICT】

Synthesis of high hardness IR optical coating using diamond-like carbon by PECVD at room temperature

著者 (8件)： K. Ankit (Central Manufacturing Technology Institute, Tumkur Road, Bangalore, 560022, India) ,  K. Ankit (Central Manufacturing Technology Institute, Tumkur Road, Bangalore, 560022, India) ,  Varade Ashish (Central Manufacturing Technology Institute, Tumkur Road, Bangalore, 560022, India) ,  K. Niranjan Reddy (Central Manufacturing Technology Institute, Tumkur Road, Bangalore, 560022, India) ,  Dhan Sarmistha (Central Manufacturing Technology Institute, Tumkur Road, Bangalore, 560022, India) ,  M. Chellamalai (Central Manufacturing Technology Institute, Tumkur Road, Bangalore, 560022, India) ,  N. Balashanmugam (Central Manufacturing Technology Institute, Tumkur Road, Bangalore, 560022, India) ,  Krishna Prasad (Department of Mechanical Engineering, National Institute of Technology Karnataka, Surathkal, Mangalore, India)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 78  ページ： 39-43  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： IR反射防止特性のためのダイヤモンド状炭素(DLC)は,現在,ゲルマニウムベース赤外光学系の被覆に使用されている。伝統的な反射防止(AR)被覆と比べてこれらのDLC被覆は優れた耐摩耗性を提供する。本研究では,3~7μmと15μmおよび9μmのような波長領域におけるIR透過をカバーする典型的DLCで被覆したゲルマニウム基板を用いた赤外光学系の開発を強調した。IR透過を研究するために,計算と被覆した両面研磨したゲルマニウム基板上にしたDLCの最適膜厚さ。DLCはゲルマニウム基板の片面だけでなく,ゲルマニウムの両側に被覆した。DLCは接着に必要な中間バッファ層を使用せずに,室温で無線周波数(RF)プラズマ増強化学蒸着(RF PECVD)を用いて堆積し,既存の文献と比較して,高い硬度値を室温で達成した。DLC被覆ゲルマニウム窓を通した赤外の透過率はFourier変換赤外(FTIR)分光法を用いて測定した。ゲルマニウム上の単面および両面DLC被覆を通る透過の比較を実証した。膜の硬度はナノインデンテーションを用いて測定した。スクラッチ試験もナノインデンテーションを用いて行った。接着と塩水噴霧試験は,MIL規格に従って実施した。両面DLC被覆では,93%のピーク透過率値は3~7μmで達成されるとDLCの平均硬さは32.74GPaであると測定された。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 引かき試験 ,  ゲルマニウム ,  被覆 ,  透過率 ,  接着 ,  *プラズマCVD ,  研磨 ,  耐摩耗性 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  ナノインデンテーション ,  膜厚 ,  光学系 ,  *硬度
準シソーラス用語： ゲルマニウム基板 ,  DLC被覆 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： ダイヤモンド状炭素 ,  IR被覆 ,  反射防止コーティング ,  ゲルマニウム上のDLC ,  赤外窓 ,  抗かき傷光学コーティング

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 室温 ,  PECVD ,  ダイヤモンド状炭素 ,  高硬度 ,  Ir ,  光学コーティング