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J-GLOBAL ID:201702234644274290   整理番号:17A1166936

動力学的X線回折理論:成長したままとイオン注入したガーネット構造における欠陥と株の特性化【Powered by NICT】

Dynamical X-ray diffraction theory: Characterization of defects and strains in as-grown and ion-implanted garnet structures
著者 (12件):
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巻: 254  号:ページ: ROMBUNNO.201600689  発行年: 2017年 
JST資料番号: C0599A  ISSN: 0370-1972  CODEN: PSSBBD  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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不完全単結晶によるX線回折の一般化動的理論は不均一歪場との複合体と類似の結晶膜を用いた実単結晶の構造欠陥を特性化するために拡張した。平均および変動歪場と構造因子の両方を変えることで,このような構造における同時に提示,種々の欠陥(内因性および外因性点欠陥,ナノクラスタとミクロ欠陥)の影響を考慮した。これらの欠陥の統計的特性と散乱強度のコヒーレント成分と拡散成分をつなぐ解析的表式を得た。コヒーレントおよび拡散動力学的回折強度成分の自己無撞着記述を提供した。高分解能二結晶X線回折計を用いて,種々のガーネット構造から測定したロッキング曲線を処理するために開発した理論モデルの応用のいくつかの例をレビューした。成長させたままとイオン注入したガーネット単結晶とイットリウム鉄ガーネット膜中の構造欠陥と歪プロファイルの定量的キャラクタリゼーションのための可能性を実証した。不均一歪場とランダムに分布した欠陥を持つ不完全な結晶構造からのコヒーレント散乱および散漫散乱強度の自己無撞着動力学的記述は,広く開放検出器窓を用いた高分解能二結晶X線回折により測定したロッキング曲線のコヒーレント成分と拡散成分を処理する解析による欠陥の歪プロフィルと統計的特性のパラメータを決定することを可能にした。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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半導体薄膜  ,  半導体の格子欠陥 

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