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J-GLOBAL ID：201702234753741186   整理番号：17A1597739

LabVIEWに基づく高精度レーザ干渉測距システム【JST・京大機械翻訳】

High-precision laser interferometric displacement measurement system based on LabVIEW

著者 (3件)： Yan Jin (上海理工大学光電信息与計算机工程学院 上海 200093) ,  Li Yun (上海理工大学光電信息与計算机工程学院 上海 200093) ,  Yang Haima (中国科学院上海技術物理研究所 上海 200083)
資料名： Dianzi Celiang Jishu  (Dianzi Celiang Jishu)
巻： 40  号： 4  ページ： 172-177  発行年： 2017年 
JST資料番号： C3330A  ISSN： 1002-7300  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 微小変位と直線度誤差は工業測定における重要な幾何学的パラメータとして、その測定値は精密機器の製造と測定に広く応用されている。しかし、工業技術の発展に伴い、従来の測定機器のコリメータについては、精度が高くなく、リアルタイム性が強くなく、速度が遅いなどの欠点があり、高速、高精度、リアルタイム監視の要求を完全に満たすことができないため、LabVIEWに基づく高精度レーザー干渉測定システムを提案した。変位の位置と直線性を測定し,解析した。二重周波数レーザ干渉測定の原理に基づいて,光電子距離計によって測定された変位信号の光信号を設計し,光電変換を通して電気信号を得て,LabVIEWプラットフォームを用いて操作インタフェイスとデータ処理と誤差解析を行った。システムの実験結果は,長さ30cmの軌道検出に対して,相対誤差が0.2nm以下であり,システムが単純構造,高速測定,高いリアルタイム性などの利点を持ち,変位と直線性の広範囲の測定を実現し,工業変位測定に広く使用できることを示した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 計測システム ,  距離計 ,  線形性 ,  変位測定 ,  光信号 ,  高速度 ,  データ処理 ,  *距離測定 ,  真直度 ,  誤差解析 ,  コリメータ
準シソーラス用語： 実時間 ,  *レーザ干渉 ,  *高精度 ,  *LabVIEW , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： laser interferometer ,  displacement measurement ,  straightness ,  LabVIEW

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： LabVIEW ,  レーザ干渉 ,  測距システム