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J-GLOBAL ID:201702234817556425   整理番号:17A0550915

時間的・空間的隔たり産み出すミスト流を用いた新反応制御技術の開発

著者 (14件):
資料名:
巻: 64th  ページ: ROMBUNNO.17a-502-10  発行年: 2017年03月01日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (3件):
分類
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薄膜成長技術・装置  ,  半導体薄膜  ,  酸化物薄膜 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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