抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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Q&A形式で超音波接合の基礎の解説を行なった。最初の質問は,「超音波接合の継手様式と各継手を作製する工具・プロセス」というものであった。これに対して,半導体デバイスの製造で用いられている超音波接合の事例を示すことで解答した。次の質問は,「超音波接合のメカニズム」であり,これに対して,超音波接合の基本は固相接合で,その達成のための要件である被接合材表面の酸化物のような皮膜の除去と原子結合可能な距離までの接近を与えることであることを述べた。