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J-GLOBAL ID:201702235006791900   整理番号:17A0401074

パルスDCマグネトロンスパッタリングにより堆積した硬質耐摩耗VB_2被覆【Powered by NICT】

Hard and wear resistant VB2 coatings deposited by pulsed DC magnetron sputtering
著者 (6件):
資料名:
巻: 135  ページ: 66-72  発行年: 2017年 
JST資料番号: E0347A  ISSN: 0042-207X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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ほう化バナジウム(VB_2)皮膜はそれほど関与した,それらは最上級硬度と同様に自己潤滑の利点がある。本研究では,VB_2被覆はパルスDCマグネトロンスパッタリングにより堆積し,微細構造に及ぼす蒸着パラメータ,被覆の機械的特性とトライボロジー特性の影響を,X線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),透過型電子顕微鏡(TEM),ナノ-ミクロ押込,及びボールオンディスク摩擦計により調べた。吸着原子移動度の高い成長条件のもとでは,皮膜は完全(001)配向と緻密な組織を示した。ナノカラムは二次相により分離されたナノ複合材料構造は,特に773で電着された被膜で観察された。コーティングの硬さと固有応力の両方は,基板バイアス,または,パルス周波数を増加させることによって実質的に改善した。 30Vおよび250kHzで蒸着した被覆は,~43.6GPaの硬度と~2.0GPaの圧縮応力を有していた。2Nの負荷の下で,摩擦係数は~Al_2O_3対応物に対して0.7であり,摩耗速度は7×10~-16 8×10~ 16m~3n mの範囲であった。5Nの負荷の下で,低い内部応力を有する被覆は良好な耐摩耗性を示し,10~ 16m~3n mの摩耗率Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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その他の無機化合物の薄膜  ,  固体の機械的性質一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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