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J-GLOBAL ID：201702235018848327   整理番号：17A0697737

マグネトロンスパッタリングによりMgO(001)上のPt(001)薄膜の酸素依存性エピタキシャル成長【Powered by NICT】

Oxygen-dependent epitaxial growth of Pt(001) thin films on MgO(001) by magnetron sputtering

著者 (11件)： Qiu X.Y. (School of Physical Science and Technology, Southwest University, Chongqing 400715, China) ,  Wang R.X. (School of Physical Science and Technology, Southwest University, Chongqing 400715, China) ,  Li G.Q. (School of Physical Science and Technology, Southwest University, Chongqing 400715, China) ,  Zhang T. (School of Physical Science and Technology, Southwest University, Chongqing 400715, China) ,  Li L.T. (School of Physical Science and Technology, Southwest University, Chongqing 400715, China) ,  Wei M.L. (School of Physical Science and Technology, Southwest University, Chongqing 400715, China) ,  Meng X.S. (School of Physical Science and Technology, Southwest University, Chongqing 400715, China) ,  Ji H. (School of Energy Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, Sichuan, China) ,  Zhang Z. (Department of Applied Physics, The Hong Kong Polytechnic University, Hong Kong, China) ,  Chan C.H. (Department of Applied Physics, The Hong Kong Polytechnic University, Hong Kong, China) ,  Dai J.Y. (Department of Applied Physics, The Hong Kong Polytechnic University, Hong Kong, China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 406  ページ： 212-217  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリングによりMgO(001)基板上に成長させたPt薄膜の結晶方位,表面形態および電気抵抗率の酸素ガスの役割を研究した。Ar O_2混合気体雰囲気でスパッタリング堆積中のよく制御された酸素比(15%酸素)を用いて,MgO基板上にPt膜の(001)エピタキシャル成長は,(001)Pt/(001)MgO及び[100]Pt∥[100]MgOのエピタキシャル方位関係を達成した。微細構造および電気的特性評価は,(001)Pt薄膜は非常に滑らかな表面と優れた電気伝導率を有することを明らかにした。30%以上の酸素を用いて成長させたPt膜中の酸化白金の生成とそれに続く分解は表面粗さと電気抵抗率の増加をもたらす。高品質Pt(001)膜は,集積電子デバイスへの応用のための大きな可能性を持っている。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： スパッタ蒸着 ,  *薄膜 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *酸素 ,  表面粗さ ,  電気抵抗率 ,  *酸化マグネシウム ,  電気的性質 ,  *エピタクシー ,  混合気体 ,  *白金 ,  電気伝導率 ,  結晶方位
準シソーラス用語： 高品質 ,  表面形態 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Pt膜 ,  エピタキシャル成長 ,  酸素比 ,  Microstructure

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (7件)： マグネトロンスパッタリング ,  MgO ,  Pt ,  薄膜 ,  酸素 ,  依存性 ,  エピタキシャル成長