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J-GLOBAL ID：201702235401245029   整理番号：17A1267811

時間と温度はMEMSのためのAl/Ti薄膜の機械的挙動の依存性【Powered by NICT】

Time and temperature dependent mechanical behavior of Al/Ti thin films application for MEMS

著者 (3件)： Lin Tai-Ting (Graduate Institute of Precision Engineering, National Chung Hsing University, Taichung 402, Taiwan) ,  Tsai Ang-Ting (Graduate Institute of Precision Engineering, National Chung Hsing University, Taichung 402, Taiwan) ,  Lin Ming-Tzer (Graduate Institute of Precision Engineering, National Chung Hsing University, Taichung 402, Taiwan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： DTIP  ページ： 1-6  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Al-Ti合金はRF MEMSスイッチのようなMEMS部品に広く使用されている。高温,スイッチ,鏡などで動作するMEMS部品の可動部と,それらの信頼性に着目する必要がある問題である。より良い信頼性の低いコンポーネントを製造するためには,材料の機械的性質を明らかにするために必要である。ここでは,スパッタリング装置を用いて四種類のAl-Ti合金膜試料を堆積し,バルジ試験を用いてこれらの膜の機械的性質を測定した。バルジ試験の原理は,圧力により引き起こされるバルジの高さを測定するための圧力差,使用位置センシング検出器(PSD)からのAl-Ti合金薄膜に応力を加えることである。応力間の関係とバルジの高さによると機械的性質を測定することができる。実験は応力-歪ランプ試験とクリープ試験である二つの部分に分割した。応力ランプ試験は膜のYoung率と残留応力を提供し,クリープ試験は膜のクリープ挙動が観察された。応力ランプ試験では,Al-Ti合金膜の高いチタン含有量はより高いYoung率持つことを示した。一方,高いチタン含有量がより良好なクリープ抵抗を示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 合金 ,  *チタン ,  信頼性 ,  *MEMS ,  Young率 ,  スイッチ ,  機械的性質 ,  *薄膜 ,  残留応力 ,  *温度依存性 ,  スパッタリング装置 ,  高温 ,  クリープ試験
準シソーラス用語： 合金薄膜 ,  バルジ ,  バルジ試験 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  Al ,  Ti薄膜 ,  機械的挙動 ,  依存性