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J-GLOBAL ID:201702235740387780   整理番号:17A0193721

波長変調分光法における第二高調波信号の特性曲線を用いる高感度並進温度測定

High sensitive translational temperature measurement using characteristic curve of second harmonic signal in wavelength modulation spectroscopy
著者 (2件):
資料名:
巻: 88  号:ページ: 013105-013105-5  発行年: 2017年01月 
JST資料番号: D0517A  ISSN: 0034-6748  CODEN: RSINAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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プラズマの並進温度の高感度測定システムを開発した。このシステムは波長変調分光法に基づき,そこで第二高調波信号のピーク値を変調深さの関数として測定した。並進温度は理論計算した曲線を測定した特性曲線に当てはめて評価した。このシステムの性能をマイクロ波放電プラズマを使って調査した。従来のレーザ吸収分光法との比較の結果として,両結果はレーザ吸収分光法の測定可能領域で良い一致を示す。次にこのシステムの測定可能限界を,ターゲットの数密度を減少させて調べた。検出可能な分数吸収は低さ3.7×10-5であり,その条件で信号対ノイズ比は40の平均化数で単一ディジットのオーダであった。この値はレーザ吸収分光法のそれより二桁以上低い。(翻訳著者抄録)
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プラズマ診断 

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