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J-GLOBAL ID：201702235780237741   整理番号：17A1445706

マグネトロンスパッタしたZnOの酸素の制御:Cu(In,Ga)Se_2薄膜太陽電池のAl窓層【Powered by NICT】

Control of oxygen for magnetron sputtered ZnO:Al window layer in Cu(In,Ga)Se₂ thin film solar cells

著者 (11件)： Niu X. (Institute of Photovoltaics, College of Physics Science and Technology, Hebei University, Baoding 071002, P.R. China) ,  Zhu H. (Institute of Photovoltaics, College of Physics Science and Technology, Hebei University, Baoding 071002, P.R. China) ,  Zhu H. (Institute of New Energy Technology, College of Information Science and Technology, Jinan University, Guangzhou 510632, P.R. China) ,  Zhang W. (College of Mechanical and Automotive Engineering, Anhui Polytechnic University, Wuhu 241000, P.R. China) ,  Laing X. (Institute of Photovoltaics, College of Physics Science and Technology, Hebei University, Baoding 071002, P.R. China) ,  Guo Y. (Institute of Photovoltaics, College of Physics Science and Technology, Hebei University, Baoding 071002, P.R. China) ,  Li Z. (Institute of Photovoltaics, College of Physics Science and Technology, Hebei University, Baoding 071002, P.R. China) ,  Chen J. (Institute of Photovoltaics, College of Physics Science and Technology, Hebei University, Baoding 071002, P.R. China) ,  Xu Y. (Institute of Photovoltaics, College of Physics Science and Technology, Hebei University, Baoding 071002, P.R. China) ,  Mai Y. (Institute of Photovoltaics, College of Physics Science and Technology, Hebei University, Baoding 071002, P.R. China) ,  Mai Y. (Institute of New Energy Technology, College of Information Science and Technology, Jinan University, Guangzhou 510632, P.R. China)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 214  号： 10  ページ： ROMBUNNO.201700132  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,アルミニウムドープ酸化亜鉛(ZnO:Al)薄膜を窓層としてCu(In,Ga)Se_2(CIGS)薄膜太陽電池への応用のための室温でセラミックターゲットからのマグネトロンスパッタリングにより作製した。種々の酸素-アルゴン混合気体フラックス(Ar中5%O_2)はZnO:Al薄膜の調製中に堆積容器内に入力した。,結晶粒構造,光学的および電気的特性を含む,スパッタZnO:Al薄膜の種々の特性に及ぼす酸素含有量の影響を系統的に調べた。高O_2~-Ar混合ガスフラックスは低動的堆積速度,高い光透過率と高抵抗率をもたらした。ZnO:Al窓層は高いO_2~-Ar混合ガス流束,は増加するO_2~-Ar混合ガス流束をもつZnO:Al薄膜の増強された透過率と抵抗率に関係するにおいて作製したとき,CIGS薄膜太陽電池は,高い短絡電流密度が低い曲線因子を示した。O_2~-Ar混合ガス流束は1.5sccmであるとき,14.7%の最高効率CIGS薄膜太陽電池はSLG/Mo/CIGS/CdS/i ZnO/ZnO:Al/(Ni/Al/Ni)格子/MgF_2の構造で達成された。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *酸素 ,  透過率 ,  *太陽電池 ,  堆積速度 ,  電気的性質 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *アルミニウム ,  *酸化亜鉛 ,  電気抵抗率 ,  *薄膜 ,  混合気体
準シソーラス用語： 曲線因子 ,  セレン化ガリウムインジウム銅 ,  光透過率 ,  *薄膜太陽電池 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： アルミニウム ,  Cu(InGa)Se2 ,  マグネトロンスパッタリング ,  酸素 ,  太陽電池 ,  薄膜 ,  ZnO

分類 (2件)： 太陽電池  (NC03084O) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： マグネトロンスパッタ ,  ZnO ,  酸素 ,  Cu ,  Ga ,  薄膜太陽電池 ,  Al ,  窓