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J-GLOBAL ID：201702236136670633   整理番号：17A1033092

医療機器のための生体適合性A LDバリアコーティング【Powered by NICT】

Biocompatible ALD barrier coatings for medical devices

著者 (7件)： Matvejeff Mikko (Picosun, Masala, Finland) ,  Ek Satu (Picosun, Masala, Finland) ,  Ritasalo Riina (Picosun, Masala, Finland) ,  Kalliomaki Jesse (Picosun, Masala, Finland) ,  Jarvinen Paivi (Picosun, Masala, Finland) ,  Ylivaara Oili (VTT, Espoo, Finland) ,  Ostreng Erik (Picosun, Masala, Finland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： EDTM  ページ： 56-58  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子層蒸着(A LD)は高アスペクト比基板上に低温での共形欠陥のない形で,金属酸化物,金属窒化物と金属のような,種々の材料を堆積させるために広く用いられている。これらの利点は高感度基板材料は,コーティング品質と温度・耐薬品性に及ぼす極端な要求と結合する応用のためのA LDユニークで強力な方法を,医学的応用でしばしば見られるような。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 品質 ,  高感度 ,  *医療機器 ,  耐化学性 ,  低温 ,  *生体適合性 ,  金属酸化物 ,  *被覆 ,  窒化物
準シソーラス用語： 基板材料 ,  高アスペクト比 ,  ALCVD , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 医療機器 ,  生体適合性 ,  LD ,  バリア ,  コーティング