相変化材料ゲルマニウム-アンチモン-テルリド,Ge_2Sb_2Te_5(GST)のための分子前駆体【Powered by NICT】

Harmgarth Nicole; Zorner Florian; Liebing Phil; Burte Edmund P.; Silinskas Mindaugas; Engelhardt Felix; Edelmann Frank T.

文献

J-GLOBAL ID：201702236470771624 整理番号：17A1435439

相変化材料ゲルマニウム-アンチモン-テルリド,Ge_2Sb_2Te_5(GST)のための分子前駆体【Powered by NICT】

Molecular Precursors for the Phase-Change Material Germanium-Antimony-Telluride, Ge₂Sb₂Te₅ (GST)

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資料名：
巻： 643 号： 18 ページ： 1150-1166 発行年： 2017年
JST資料番号： E0429A ISSN： 0044-2313 CODEN： ZAACAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

本レビューでは,相変化材料ゲルマニウム-アンチモン-テルリド,Ge_2Sb_2Te_5(GST)周辺の開発された前駆体化学の概要を提供する。GST薄膜を化学蒸着(CVD)又は原子層堆積(A LD)技法のどちらかを用いて堆積することができる。いずれの場合も,層堆積の成功は,適切な分子前駆体の適切な選択に依存する。以前に報告されたプロセスは主に単純なアルコキシド,アルキル,アミドおよびゲルマニウム,アンチモン,テルルのハロゲン化物に依存していた。より洗練された前駆体設計は有望な新しいaziridinidesとグアニジナートの数を提供した。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

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遷移金属元素(鉄族元素を除く)の錯体の結晶構造 , 非遷移金属元素の錯体 , 塩基,金属酸化物 , 非遷移金属元素の錯体の結晶構造 , 金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造

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