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J-GLOBAL ID：201702236815484755   整理番号：17A0153709

ロールツーロール有機触媒CVDシステムにより0.000001以下のWVTRを目標に定める

Targeting a WVTR of Less Than 0.000001 With a Roll-to-roll Organic Catalytic CVD System

著者 (2件)： NAKAYAMA Hiroshi (Osaka City Univ.) ,  WAKURA Shinji (Asahi Electronics Lab. Co., Ltd.)
資料名： Convertech International  (Convertech International)
巻： 1  号： 3  ページ： 62-65  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： L8287B  ISSN： 2432-2822  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 10⁶(g/m²/日)の水蒸気透過速度(WVTR)を達成できる,と考えて以来,略20年が経過した。しかしながら,2015年と2016年だけで,このバリア技術が最終的に具体化した。本稿では,この高バリア性フィルムを完成させることを目指して採った手法を紹介した。先ず,PET基材フィルム上へ,出来るだけ小さな炭素(C)含有分子で,N,OとHも含有する分子を作製して,一例として,SiH₃Me(メチルシラン)とH₂ガスを有機触媒CVDシステムに掛けると,分解/合成して・Me-Si-Meや・HSi-CH₂-SiH・を生成し,未反応分子は次々にフィルム表面に吸収されて,ガスバリア表面を生成する。このバッチ系をロールツーロール系へ移行した。1)はじめに,2)プラスチック上へバリア層を形成する,3)ロールツーロールバリアフィルム形成法(バリアフィルムの形成,最良のロールツーロールデータを目指して),4)まとめと改善提案(ロールツーロールCVDシステム,のガス注入法の改良,Si-O-C-N,Si-C-NとSi-C-N-Fの3種ガスの同時注入)。

シソーラス用語： *生産方式 ,  *ガスバリヤ性 ,  *被覆 ,  *プラスチックフィルム ,  有機金属化合物 ,  *化学蒸着 ,  ポリエチレンテレフタレート ,  *有機ケイ素化合物 ,  速度 ,  触媒反応 ,  混合気体
準シソーラス用語： *バリアフィルム ,  *ロール・ツー・ロール方式 ,  *水蒸気バリヤ性 ,  水蒸気透過速度 ,  *複合被膜 ,  有機触媒反応

分類 (4件)： 生産形態  (KB03020E) ,  膜分離  (XD02120Z) ,  有機けい素化合物  (CF08030C) ,  気相めっき  (WC08022K)

物質索引 (1件)： メチルシラン

引用文献 (3件)：

• H. Nakayama: Organic CAT-CVD, The Latest Element Technology of Film Based Electronic (Popular Edition/Supervisors: Hiroshi Nakayama, Masaaki Nakayama, Soichi Ogawa), CMC Publishing, Co., Ltd., p. 176 (2013)
• H. Nakayama, T. Hatake, M. Ito: Recent Developments in Organic Cat-CVD SiCN Thin-films Using Organo-silicon Compounds, Organic Catalytic CVD (Cat-CVD) (Popular Edition/Supervisor: Hiroshi Nakayama), CMC Publishing, Co., Ltd. p. 210 (2013)
• S. Otani: Method for Evaluating Gas Transmission Using a MOCON Gas Barrier Testing System and Increasing Speed Accuracy, the Latest in Gas Separation Film/Transmission Film/Barrier Film (Supervisor: Kazukiyo Nagai), CMC Publishing Co., Ltd., P. 101 (2007)

タイトルに関連する用語 (4件)： ロールツーロール ,  有機触媒 ,  CVD ,  目標