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J-GLOBAL ID：201702237016891353   整理番号：17A0994968

赤外検出器のための酸素雰囲気中アニールしたNb:TiO_2~ x膜のボロメータ特性【Powered by NICT】

Bolometric properties of oxygen atmosphere annealed Nb:TiO_2-x films for infrared detectors

著者 (4件)： Reddy Y. Ashok Kumar (Department of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, 335 Gwahangno, Yuseong-gu, Daejeon 305-701, South Korea) ,  Kang In-Ku (Department of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, 335 Gwahangno, Yuseong-gu, Daejeon 305-701, South Korea) ,  Shin Young Bong (Department of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, 335 Gwahangno, Yuseong-gu, Daejeon 305-701, South Korea) ,  Lee Hee Chul (Department of Electrical Engineering, Korea Advanced Institute of Science and Technology, 335 Gwahangno, Yuseong-gu, Daejeon 305-701, South Korea)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 12  ページ： 9207-9213  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文の目的は,赤外検出器のためのNb:TiO_2~ x試料の放射特性に及ぼす酸素雰囲気アニーリングの効果を調べることである。は堆積したままとアニールした試料の構造と組成分析を行った。構造特性は膜の結晶性の改善を示し,酸素雰囲気中で蒸着後焼なましが組成分析は,酸素空孔の補償を確認した。試験装置を作製した抵抗率,抵抗の温度係数(TCR),1/f雑音パラメータ,放射パラメータ(β)および熱安定性のボロメータ特性を見出すことであった。温度による抵抗率の対数減衰率は堆積したままとアニールした試験装置の両試料は典型的な半導性挙動を示すことを確認した。一方,温度による抵抗の変化のために高い抵抗率を持つが,アニールした試料はより低いT CR値を示した。20分間アニールした試料は良好な熱安定性を有し,堆積したままの試料に対する1/f雑音とβ値に関して類似していた。得られた結果は,酸素雰囲気中でのTNO試料の堆積後アニーリングは,堆積したままの試料のそれと比較してはるかに強い熱安定性をもたらすであろうことを示唆した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 試験装置 ,  *ボロメータ ,  熱安定性 ,  結晶度 ,  *赤外検出器 ,  電気抵抗率 ,  蒸着 ,  *焼なまし ,  1/f雑音 ,  構造特性 ,  半導性
準シソーラス用語： 抵抗温度係数 ,  酸素空格子点 ,  成分分析 ,  *酸素雰囲気 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Nb:TiO_2~ x膜 ,  アニーリング ,  酸素大気 ,  ボロメータ特性 ,  熱安定性

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 赤外検出器 ,  酸素雰囲気 ,  アニール ,  Nb ,  ボロメータ