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J-GLOBAL ID：201702237076108060   整理番号：17A1300651

表面力・共振ずり測定による低粘度ジアクリレートモノマーのシリカ表面間のナノギャップでの流動性

著者 (4件)： 伊東駿也 (東北大 多元物質科研) ,  粕谷素洋 (東北大 多元物質科研) ,  栗原和枝 (東北大 多元物質科研) ,  中川勝 (東北大 多元物質科研)
資料名： 高分子学会予稿集(CD-ROM)  (高分子学会討論会予稿集(CD-ROM))
巻： 66  号： 2  ページ： ROMBUNNO.2Z08  発行年： 2017年09月06日 
JST資料番号： Z0703C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *共振 ,  *間隙 ,  ナノ構造 ,  二酸化ケイ素 ,  表面力 ,  流動性 ,  表面改質 ,  シランカップリング剤 ,  *回路パターン形成 ,  パターン転写 ,  基板 ,  半導体素子 ,  ずり粘度 ,  *リソグラフィー ,  アラインメント ,  イオンビーム ,  カルボン酸エステル ,  ビニル化合物 ,  脂肪族カルボン酸 ,  不飽和カルボン酸 ,  ポリアクリル酸エステル ,  単分子層
準シソーラス用語： アクリラート ,  イオンビームリソグラフィー ,  シリカ ,  *ナノギャップ ,  ポリアクリレート ,  *光ナノインプリントリソグラフィー

分類 (3件)： 電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  有機化合物・錯体の蛍光・りん光(分子)  (BH06062I)

物質索引 (3件)： ビスアクリル酸1,10-デカンジイル ,  クロロ(3,3,3-トリフルオロプロピル)ジメチルシラン ,  3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-トリデカフルオロオクチルトリメトキシシラン

タイトルに関連する用語 (7件)： 表面力 ,  共振 ,  ずり ,  低粘度 ,  シリカ ,  ナノギャップ ,  流動性