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J-GLOBAL ID：201702237208775526   整理番号：17A1436287

電着CuおよびNi上の超薄炭素膜の成長と特性評価【Powered by NICT】

Growth and characterization of ultrathin carbon films on electrodeposited Cu and Ni

著者 (8件)： Pedrazzetti L. (Dip.to di Chimica, Materiali ed Ing. Chimica “Giulio Natta”, Politecnico di Milano, Milan, Italy) ,  Nobili L. (Dip.to di Chimica, Materiali ed Ing. Chimica “Giulio Natta”, Politecnico di Milano, Milan, Italy) ,  Magagnin L. (Dip.to di Chimica, Materiali ed Ing. Chimica “Giulio Natta”, Politecnico di Milano, Milan, Italy) ,  Bernasconi R. (Dip.to di Chimica, Materiali ed Ing. Chimica “Giulio Natta”, Politecnico di Milano, Milan, Italy) ,  Lucotti A. (Dip.to di Chimica, Materiali ed Ing. Chimica “Giulio Natta”, Politecnico di Milano, Milan, Italy) ,  Soltani P. (Institute for the Study of Nanostructured Materials, ISMN-CNR, Rome, Italy) ,  Mezzi A. (Institute for the Study of Nanostructured Materials, ISMN-CNR, Rome, Italy) ,  Kaciulis S. (Institute for the Study of Nanostructured Materials, ISMN-CNR, Rome, Italy)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 49  号： 11  ページ： 1088-1094  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極薄炭素膜は,異なるタイプの金属基板上に成長させた。CuとNiの自立箔は,電鋳によって調製し,純Ni膜はSiウエハ上のガルバニック置換により得られた。参照基板として用いたNiの99.95%の市販箔。炭素膜をCH_4 H_2雰囲気中での化学気相堆積によりこれらの基板上に成長させた。得られた膜をRaman分光法,X線光電子分光法(XPS),Auger電子分光法,および紫外光電子分光法によって特性化した。すれすれ収集角でXPSを用いて炭素膜の厚さを決定することであった。堆積パラメータに依存して,グラフェンあるいはグラファイトの膜を,種々の基板上に得た。グラフェンの均一性,試料全体にわたるその分布はRamanデータ,光学画像,XPS化学マップから調べた。膜中のグラフェンあるいはグラファイトの存在はC KVVのRamanスペクトルとAugerピークから決定した。この目的のために,Dパラメータ,炭素同素体のフィンガープリントは,X線および電子ビームを用いて得られたC KVVスペクトルから決定した。金属水酸化物の中間層の形成は,グラフェン被覆層を持つ試料で明らかになった。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *ニッケル ,  グラフェン ,  *炭素 ,  X線光電子分光法 ,  グラファイト ,  *電着 ,  被覆層 ,  Auger分光法 ,  *キャラクタリゼーション ,  化学蒸着 ,  *銅 ,  X線光電子スペクトル ,  Ramanスペクトル ,  Raman分光法
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  *炭素膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： Auger分光法 ,  グラフェン ,  金属電着 ,  Raman分光法 ,  UPS ,  XPS

分類 (4件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  物理的手法を用いた吸着の研究  (CB12043P) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電着 ,  Cu ,  Ni ,  炭素膜 ,  成長 ,  特性評価