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J-GLOBAL ID：201702237246022795   整理番号：17A0362611

鋼基板上の硬質ナノ層状AlTiN/TiN被覆における正確なフェムト秒レーザクレータ製作【Powered by NICT】

Precise femtosecond laser crater fabrication in hard nanolayered AlTiN/TiN coating on steel substrate

著者 (9件)： Gakovic B. (Institute of Nuclear Sciences Vinca, University of Belgrade, POB 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  Petrovic S. (Institute of Nuclear Sciences Vinca, University of Belgrade, POB 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  Albu C. (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, POB MG-36, Magurele, Ilfov, Romania) ,  Zamfirescu M. (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, POB MG-36, Magurele, Ilfov, Romania) ,  Panjan P. (Jozef Stefan Institute, Jamova 39, 1000 Ljubljana, Slovenia) ,  Milovanovic D. (Institute of Nuclear Sciences Vinca, University of Belgrade, POB 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  Popescu-Pelin G. (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, POB MG-36, Magurele, Ilfov, Romania) ,  Popescu-Pelin G. (Faculty of Physics, University of Bucharest, 077125 Magurele, Ilfov, Romania) ,  Mihailescu I.N. (National Institute for Lasers, Plasma and Radiation Physics, POB MG-36, Magurele, Ilfov, Romania)
資料名： Optics & Laser Technology  (Optics & Laser Technology)
巻： 89  ページ： 200-207  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0245B  ISSN： 0030-3992  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フェムト秒(fs)レーザパルスによるAlTiN/TiN多層硬質皮膜の処理を調べた。照射は波長775nmで200fsのパルスを用いた直線偏光レーザ照射による空気中で行った。単一または千の連続したレーザパルスはターゲット表面に向かって垂直入射に向けられた。パルス当たりのレーザエネルギーは0.5から50μJに調整し,対応するフルエンスは0.17 17 5Jcm~ 2であった。堆積したままとレーザアブレートされた試料を光学共焦点顕微鏡法,光学的形状測定,走査および透過電子顕微鏡により評価した。AlTiN/TiN被覆の場合,0.41Jcm~ 2の単一パルス損傷しきい値を推定した。直径7から35μmと良く定義されたホール/クレータ,1000レーザパルス後に,レーザパルスエネルギーと数に依存して,掘削された40μmまでの深さ。小エネルギー/フルエンスでは,レーザ誘起周期的表面構造が観察された。多重パルス照射中の蓄積効果によるこれらの特徴を説明することができるか議論されているモデル。形成クレータは,保護被覆-鋼システムでのミクロン固体潤滑剤貯留層の作製に有用であることができる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： パルス ,  *フェムト秒レーザ ,  表面構造 ,  直線偏光 ,  *クレータ ,  レーザ照射 ,  *フェムト秒 ,  形状測定 ,  波長 ,  レーザパルス ,  *硬質 ,  レーザアブレーション ,  透過型電子顕微鏡
準シソーラス用語： レーザ誘起 ,  *窒化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： AlTiN/TiN被覆 ,  フェムト秒パルス ,  レーザアブレーション ,  損傷しきい値 ,  LIPSS

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 鋼 ,  硬質 ,  ナノ層 ,  TiN被覆 ,  フェムト秒レーザ ,  クレータ ,  製作