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J-GLOBAL ID:201702237576557549   整理番号:17A0579122

高感度で超高速のガスセンシングのためのマイクロヒータープラットフォーム上における規則性金属酸化物中空球アレイのその場局在成長

In Situ Localized Growth of Ordered Metal Oxide Hollow Sphere Array on Microheater Platform for Sensitive, Ultra-Fast Gas Sensing
著者 (10件):
資料名:
巻:号:ページ: 2634-2641  発行年: 2017年01月25日 
JST資料番号: W2329A  ISSN: 1944-8244  CODEN: AAMICK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ホルムアルデヒドを超高速に高感度検出するための低電力で作動するガスセンサを開発した。フッ素化合物による自己集合単分子層で表面修飾したマイクロヒータープラットフォーム上において加熱した領域に,金属酸化物(酸化スズ)のナノ構造化したコロイド中空球の規則性二次元アレイをその場局在オンチップ合成した。このプラットフォームを金属酸化物の成長に対する犠牲テンプレートとして用いることにより,二次元コロイド中空球アレイの位置の制御が可能となった。結果として,ホルムアルデヒドの検出限界が6.5ppb,応答時間が1.8秒,回復時間が5.4秒という優れた特性を持つ高感度,超高速,高選択性ガスセンサを作製することができた。
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