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J-GLOBAL ID：201702237653644558   整理番号：17A1348857

in situ SEM測定のための三次元印刷した視覚ベース微小力センサ【Powered by NICT】

3D-printed vision-based micro-force sensor dedicated to in situ SEM measurements

著者 (10件)： Guelpa Valerian (Automation and Micro-Mechatronics Systems Department, FEMTO-ST Institute, Univ. Bourgogne Franche-Comte ́, UMR CNRS 6174, ENSMM, Besancon, France) ,  Prax Jean-Sebastien (Automation and Micro-Mechatronics Systems Department, FEMTO-ST Institute, Univ. Bourgogne Franche-Comte ́, UMR CNRS 6174, ENSMM, Besancon, France) ,  Vitry Youen (Universite ́ libre de Bruxelles, BEAMS dpt, CP 165/56, 50 avenue Roosevelt, B-1050, Belgium) ,  Lehmann Olivier (Automation and Micro-Mechatronics Systems Department, FEMTO-ST Institute, Univ. Bourgogne Franche-Comte ́, UMR CNRS 6174, ENSMM, Besancon, France) ,  Dehaeck Sam (Universite ́ libre de Bruxelles, TIPs dpt, CP 165/67, 50 avenue Roosevelt, B-1050, Belgium) ,  Sandoz Patrick (Department of Applied Mechanics, FEMTO-ST Institute, Univ. Bourgogne Franche-Comte ́, UMR CNRS 6174, ENSMM, Besancon, France) ,  Clevy Cedric (Automation and Micro-Mechatronics Systems Department, FEMTO-ST Institute, Univ. Bourgogne Franche-Comte ́, UMR CNRS 6174, ENSMM, Besancon, France) ,  Le Fort-Piat Nadine (Automation and Micro-Mechatronics Systems Department, FEMTO-ST Institute, Univ. Bourgogne Franche-Comte ́, UMR CNRS 6174, ENSMM, Besancon, France) ,  Lambert Pierre (Universite ́ libre de Bruxelles, BEAMS dpt, CP 165/56, 50 avenue Roosevelt, B-1050, Belgium) ,  Laurent Guillaume J. (Automation and Micro-Mechatronics Systems Department, FEMTO-ST Institute, Univ. Bourgogne Franche-Comte ́, UMR CNRS 6174, ENSMM, Besancon, France)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： AIM  ページ： 424-429  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロスケールでの作業規模に適応したセンサを用いた正確なと積分力フィードバックは効率的に必要とする。本論文では,走査型電子顕微鏡(SEM)のチャンバー内で使用することを意図した3D印刷視覚をベースとした微小力センサを提示した。非常に効果的なビジョンベースの測定法を用いた3次元プリントされた弾性構造の組合せは,最新技術の切れ刃で集積センサの設計を可能にする。さらに提示した設計は,Abbeの整列原理を尊重する。本論文では,提案したセンサのSEM環境における一般的な設計,製造および実験的特性評価を提示した。周期パターンの画像を用いて,柔軟構造の二つの部分の間の微分変位を測定した。剛性の知識により,その上に適用された力を測定した。弾性構造の剛性は15.3N.m~ 1であると測定され,力範囲25~μNのへと導いた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  弾性 ,  画像 ,  走査電子顕微鏡 ,  切れ刃 ,  *センサ ,  微分 ,  *視覚 ,  アラインメント ,  剛性 ,  *三次元
準シソーラス用語： チャンバ ,  マイクロスケール ,  *力センサ ,  *三次元印刷 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (5件)： SEM ,  三次元印刷 ,  視覚 ,  微小 ,  力センサ