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J-GLOBAL ID：201702237773361869   整理番号：17A0996321

汚染物質と爆発性ガス検出のための小型化MOXに基づくセンサ【Powered by NICT】

Miniaturised MOX based sensors for pollutant and explosive gases detection

著者 (13件)： Firtat Bogdan (IMT-Bucharest, 126A Erou Iancu Nicolae, 077190, Voluntari, Romania) ,  Moldovan Carmen (IMT-Bucharest, 126A Erou Iancu Nicolae, 077190, Voluntari, Romania) ,  Brasoveanu Costin (IMT-Bucharest, 126A Erou Iancu Nicolae, 077190, Voluntari, Romania) ,  Muscalu George (IMT-Bucharest, 126A Erou Iancu Nicolae, 077190, Voluntari, Romania) ,  Gartner Mariuca (“Ilie Murgulescu” Institute of Physical Chemistry of the Romanian Academy, 202 Splaiul Independentei, 060021, Bucharest, Romania) ,  Zaharescu Maria (“Ilie Murgulescu” Institute of Physical Chemistry of the Romanian Academy, 202 Splaiul Independentei, 060021, Bucharest, Romania) ,  Chesler Paul (“Ilie Murgulescu” Institute of Physical Chemistry of the Romanian Academy, 202 Splaiul Independentei, 060021, Bucharest, Romania) ,  Hornoiu Cristian (“Ilie Murgulescu” Institute of Physical Chemistry of the Romanian Academy, 202 Splaiul Independentei, 060021, Bucharest, Romania) ,  Mihaiu Susana (“Ilie Murgulescu” Institute of Physical Chemistry of the Romanian Academy, 202 Splaiul Independentei, 060021, Bucharest, Romania) ,  Vladut Cristina (“Ilie Murgulescu” Institute of Physical Chemistry of the Romanian Academy, 202 Splaiul Independentei, 060021, Bucharest, Romania) ,  Dascalu Izabella (“Ilie Murgulescu” Institute of Physical Chemistry of the Romanian Academy, 202 Splaiul Independentei, 060021, Bucharest, Romania) ,  Georgescu Vlad (ROMELGEN SRL, 82 Baicului, Bucharest, Romania) ,  Stan Ion (ROMELGEN SRL, 82 Baicului, Bucharest, Romania)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 249  ページ： 647-655  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 研究は家庭もしくは工業的環境で非常に低濃度汚染物質と爆発性ガスのモニタリングのための最適化ガスセンシングシステムを得るために提案した。設計,シミュレーション,センサ製作および試験結果を提示した。ナノ構造金属酸化物(SnO_2,ZnO,SnO_2:ZnO,SnO_2:ZnO:Fe_2O_3)上のマイクロセンサはCO,C_3H_8とCH_4検出のために作製し,試験した。Ti(50nm)/Au(150nm),0.2mm厚アルミナウエハの前面上にパターン形成した上に作製した小型IDT(交差指形変換器)電極を作製した。ITDの上に堆積したアルミナウエハの裏面上にパターン形成したTi/Pt加熱器と共に異なったナノ構造化金属酸化物の高感度被覆から成る。250°C÷550°Cの作業温度は20sの15V DCを適用することにより達成できた。この選ばれた作製技術は,信頼性が高く,低コスト検出装置を提供した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ナノ構造 ,  加熱器 ,  *センサ ,  信頼性 ,  金属酸化物 ,  *汚染物質 ,  高感度 ,  検出器 ,  *爆発性 ,  被覆 ,  最適化 ,  パターン形成 ,  *小型化
準シソーラス用語： マイクロセンサ ,  低濃度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 化学マイクロセンサ ,  ナノ構造金属酸化物 ,  高効率ガス検出

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (3件)： 汚染物質 ,  爆発性 ,  MOX