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J-GLOBAL ID：201702237913467060   整理番号：17A1639300

ウエハステージへの応用を用いたスパース反復学習制御:性能,資源効率,およびタスクの柔軟性の達成【Powered by NICT】

Sparse iterative learning control with application to a wafer stage: Achieving performance, resource efficiency, and task flexibility

著者 (2件)： Oomen Tom (Eindhoven University of Technology, Faculty of Mechanical Engineering, Control Systems Technology group, PO Box 513, Eindhoven 5600MB , The Netherlands) ,  Rojas Cristian R. (Automatic Control Lab, Electrical Engineering, KTH - Royal Institute of Technology, Stockholm S-100 44, Sweden)
資料名： Mechatronics  (Mechatronics)
巻： 47  ページ： 134-147  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0098A  ISSN： 0957-4158  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 試験変化擾乱は反復学習制御(ILC)における重要な関心事であると非効率的で高価な実装と厳しい性能劣化につながる可能性がある。本論文の目的は,付加的な構造を強化するために可能にする最適化に基づくILC,スパース性を含めるための一般的な枠組みを開発することである。提案した方法は,l_1ノルムを用いた凸緩和による一般化設定におけるスパース性を強化する。提案したILC枠組みは,資源効率的な実装,試験種々の外乱減衰,及び基底関数選択のためのサンプリングシーケンスの最適化に適用した。フレームワークは,メカトロニクスのような制御応用における大きな可能性を持っている,ウエハステージへの適用により確認した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 緩和現象 ,  *柔軟性 ,  ノルム ,  運動制御 ,  *透視図法 ,  最適化 ,  凸形 ,  基底関数 ,  メカトロニクス
準シソーラス用語： 外乱減衰 ,  スパース性 ,  性能劣化 ,  *資源効率 ,  *反復学習制御 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 反復学習制御 ,  運動制御 ,  フィードフォワード ,  スパース最適化 ,  資源効率的制御

分類 (2件)： システム設計・解析  (IA02030D) ,  サーボ機構  (IC03030Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： ウエハ ,  ステージ ,  応用 ,  反復学習制御 ,  資源効率 ,  タスク