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J-GLOBAL ID：201702238208561149   整理番号：17A1187259

熱共鳴ゼオライト系ガスセンサ【Powered by NICT】

Thermal resonant zeolite-based gas sensor

著者 (9件)： Denoual M. (GREYC-UMR 6072-ENSICAEN, Normandie Universite, 6 Bd. du Marechal Juin, 14050 Caen, France) ,  Denoual M. (LIMMS-UMI 2820, Institute of Industrial Science, University of Tokyo, Meguro-ku Komaba 4-6-1, 153-8505 Tokyo, Japan) ,  Robbes D. (GREYC-UMR 6072-ENSICAEN, Normandie Universite, 6 Bd. du Marechal Juin, 14050 Caen, France) ,  Inoue S. (iSML, University of Tokyo, Bunkyo-ku Hongo 7-3-1, 113-8656 Tokyo, Japan) ,  Mita Y. (iSML, University of Tokyo, Bunkyo-ku Hongo 7-3-1, 113-8656 Tokyo, Japan) ,  Mita Y. (LIMMS-UMI 2820, Institute of Industrial Science, University of Tokyo, Meguro-ku Komaba 4-6-1, 153-8505 Tokyo, Japan) ,  Grand J. (Laboratoire Catalyse et Spectrochimie, Normandie Universite, ENSICAEN, CNRS, 6 Bd. Marechal Juin, 14050 Caen, France) ,  Awala H. (Laboratoire Catalyse et Spectrochimie, Normandie Universite, ENSICAEN, CNRS, 6 Bd. Marechal Juin, 14050 Caen, France) ,  Mintova S. (Laboratoire Catalyse et Spectrochimie, Normandie Universite, ENSICAEN, CNRS, 6 Bd. Marechal Juin, 14050 Caen, France)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 245  ページ： 179-182  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 熱フィードバックエレクトロニクスに関連した選択性ゼオライト層で覆われた片持梁状熱装置からなる微細加工熱共鳴ガスセンサの新しい概念を提示した。センシング原理は,ゼオライト層のガス吸着による質量変化による熱共振周波数シフトを利用する概念実証は親水性FAU型ゼオライト層中の水とエタノールの選択的吸着によって実証した。中空シリコン支持構造は,シリコン質量比へのゼオライトを向上させるために作製し,ガス吸着下で相対的熱質量変化を改善した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 親水性 ,  微細加工 ,  *共鳴 ,  *ガスセンサ ,  共振周波数 ,  ケイ素 ,  片持梁 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： 熱質量 ,  質量比 ,  選択吸着 ,  ガス吸着 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ガスセンサ ,  ゼオライト ,  熱装置 ,  Microsystem

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (3件)： 共鳴 ,  ゼオライト ,  ガスセンサ