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J-GLOBAL ID：201702238324127381   整理番号：17A1112962

異種幾何構造の基板上での初期からエッチされたZnOナノロッドへの異なるエッチング発展

Different etching evolution from initial to etched ZnO nanorods on substrates of dissimilar geometries

著者 (7件)： JING Weixuan (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  SHI Jiafan (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  XU Zhipeng (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  JIANG Zhuangde (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  WEI Zhengying (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  ZHOU Fan (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN) ,  GAO Weizhuo (Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, CHN)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 123  号： 8  ページ： 513,1-13  発行年： 2017年08月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なる形状を持つガラス基板上に,一群のZnOナノロッド(NR)を合成し,更にエッチングを行い,エッチング発展挙動に影響する因子を調べた。用いた基板は平面,凸型,凹型で,NRは水熱法により合成され,エッチングはNaOH溶液中で行われた。エッチングが進行すると,NRはナノチューブ(NT)に変形した。エッチングによるNRのサイズ,形状,密度,方位の変化には,合成及びエッチング条件のみならず,基板の形状が大きく影響することが分かった。先ず,初期NRの平均径は,凸型,凹型,平面基板の順に大きかった。平均径が大きい程,(001)結晶面上の酸素空格子点が多くなり,この空格子点はエッチング開始点として作用する。そこで,凸基板上のZnO-NRが最も容易にエッチングされ,凸基板上で最も迅速にZnO-NTが生成されることになった。

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *基板 ,  *ナノロッド ,  *形状効果 ,  水熱合成 ,  *ナノチューブ ,  空格子点 ,  水酸化ナトリウム ,  凸形 ,  *ウェットエッチング ,  多孔質体 ,  半導体薄膜 ,  ガラス基板 ,  酸素空格子点
準シソーラス用語： *化学エッチング

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  試料技術  (BA02070O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 幾何構造 ,  初期 ,  エッチ ,  ZnOナノロッド ,  エッチング ,  発展