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J-GLOBAL ID：201702238900330024   整理番号：17A0585246

縁の下の力持ち ドライ真空ポンプ-真空と真空技術の利用-

著者 (1件)： 山田勝哉 (荏原製作所)
資料名： エバラ時報  (Ebara Engineering Review)
号： 253  ページ： 4-7  発行年： 2017年04月20日 
JST資料番号： F0034A  ISSN： 0385-3004  CODEN： EHJIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 今や私達の生活に欠かすことのできないスマートフォン・パソコンなどの電子機器をはじめ,民生・産業用製品製造における様々な分野で真空技術を利用した製品が世の中に多く存在します。その真空技術を利用するために「真空」をつくり出す機器が真空ポンプです。真空の定義,性質及びそれを利用した身近な技術・製品について説明し,当社が製造・販売しているドライ真空ポンプを紹介します。(著者抄録)

シソーラス用語： *真空ポンプ ,  真空成形 ,  *真空技術 ,  真空包装 ,  密封装置 ,  スクリュー
準シソーラス用語： 気体輸送式真空ポンプ ,  運動量輸送式真空ポンプ ,  *ドライ真空ポンプ ,  クリーン状態 ,  ルーツ真空ポンプ ,  微小クリアランス ,  半導体製造

分類 (1件)： 真空ポンプ  (QD04030I)

引用文献 (2件)：

• JIS Z 8126-1 真空技術-用語-第1部:一般用語.
• JIS Z 8126-2 真空技術-用語-第2部:真空ポンプ及び関連用語.

タイトルに関連する用語 (4件)： 縁 ,  真空ポンプ ,  真空 ,  真空技術